[发明专利]用于离子束加速的射频谐振器

权利要求书

1.一种用于离子注入系统的射频馈通装置，包括：

电绝缘锥体，其具有第一锥端和第二锥端，其中，所述电绝缘锥体为空心并在第一锥端具有第一开口且在第二锥端具有第二开口，其中，所述第一开口具有与其相关的第一直径，而所述第二开口具有与其相关的第二直径，且其中，所述第一直径大于所述第二直径，以限定所述电绝缘锥体的锥形侧壁；

杆体，其操作性耦接到所述电绝缘锥的第二锥端，其中，所述杆体穿过所述电绝缘锥体的第一开口和第二开口；以及

凸缘，其操作性耦接到所述电绝缘锥体的第一锥端，其中，所述凸缘具有限定于其中的凸缘开口，其中，所述凸缘开口具有与其相关的第三直径，其中，所述第三直径小于所述第一直径，且其中，所述杆体穿过所述凸缘开口而不接触所述凸缘，且其中，所述凸缘配置成使所述电绝缘锥体操作性耦接到腔壁中限定的通孔，其中，所述电绝缘锥体和所述凸缘配置成使所述杆体穿过腔壁中的通孔，同时使所述杆体与腔壁电绝缘。

2.根据权利要求1所述的射频馈通装置，进一步包括垫帽，其在接近所述凸缘的区域中操作性耦接到所述杆体，其中，所述垫帽从所述杆体的外径向外延伸预定距离，以阻挡从腔室内区域到锥体内表面的视距。

3.根据权利要求2所述的射频馈通装置，其中，所述垫帽具有与其相关的第四直径，其中，所述第四直径大于所述第三直径。

4.根据权利要求1所述的射频馈通装置，其中，所述凸缘由铝制成。

5.根据权利要求1所述的射频馈通装置，其中，所述杆体包括第一杆端和第二杆端，其中，所述第一杆端包括操作性耦接于此的加速电极，且其中，所述第二杆端配置成耦接到谐振线圈。

6.根据权利要求5所述的射频馈通装置，其中，所述电绝缘锥体、所述杆体、所述凸缘和所述腔壁之间的相应交界使腔室内的腔室环境相对于与所述谐振线圈相关的环境密封。

7.根据权利要求6所述的射频馈通装置，其中，一个或多个O形圈密封所述凸缘与所述电绝缘锥体之间的交界，而另外一个或多个O形圈密封所述杆体与所述电绝缘锥体之间的交界。

8.根据权利要求1所述的射频馈通装置，其中，使所述电绝缘锥体的第一端的第一表面和所述电绝缘锥体的第二端的第二表面金属化。

9.根据权利要求8所述的射频馈通装置，进一步包括布置于所述电绝缘锥体的第一端的第一表面与所述凸缘之间的一个或多个金属短路片，以及布置于所述电绝缘锥体的第二表面与所述杆体之间的一个或多个金属短路片。

10.根据权利要求9所述的射频馈通装置，其中，所述一个或多个金属短路片包括一个或多个金属弹簧。

11.根据权利要求1所述的射频馈通装置，其中，所述电绝缘锥体的主体由陶瓷制成。

12.根据权利要求1所述的射频馈通装置，其中，所述电绝缘锥体的主体包括氧化铝和石英中的一种或多种。

13.根据权利要求1所述的射频馈通装置，进一步包括一个或多个定位特征，其配置成使所述电绝缘锥体操作性耦接到所述凸缘，从而经由所述一个或多个定位特征使所述电绝缘锥体的位置相对于所述凸缘选择性固定。

14.根据权利要求1所述的射频馈通装置，其中，所述电绝缘锥体包括圆柱形区域，所述圆柱形区域从所述电绝缘锥体的第一端向所述电绝缘锥体的第二端延伸预定距离到拐点，其中，所述圆柱形区域具有固定的直径，且其中，所述电绝缘锥体的内径从拐点向所述电绝缘锥体的第二端渐成锥形。

15.根据权利要求14所述的射频馈通装置，其中，所述电绝缘锥体包括所述电绝缘锥体的第一端与所述凸缘之间的交界面，其中，所述交界面在所述圆柱形区域中垂直于所述电绝缘锥体的内表面。