[发明专利]具有AMR角度传感器的各向异性磁阻(AMR)角度传感器管芯有效
申请号: | 201880055858.4 | 申请日: | 2018-07-12 |
公开(公告)号: | CN111065882B | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
发明(设计)人: | D·W·李 | 申请(专利权)人: | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
主分类号: | G01B7/30 | 分类号: | G01B7/30;G01R33/09;H01L43/08 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 赵志刚 |
地址: | 美国德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 amr 角度 传感器 各向异性 磁阻 管芯 | ||
一些实施例涉及包括AMR角度传感器(130)的各向异性磁阻(AMR)角度传感器管芯。每个AMR角度传感器(130)包括第一惠斯通电桥(132)和第二惠斯通电桥(150)。传感器管芯的角度位置输出包括每个AMR角度传感器(130)的角度位置输出(142、144、160、162)的组合。
背景技术
各向异性磁阻材料响应于外部施加的磁场的变化(诸如响应于外部施加的磁场的方向的变化)来改变其电阻值。各向异性磁阻(AMR)角度传感器利用这一特性来形成角度位置(诸如轴的角度位置)的指示。在一个示例中,将AMR传感器设置在固定位置,将磁体附接到靠近AMR传感器的旋转轴,并且AMR传感器响应于由旋转磁体产生的磁场的取向的改变而形成轴的角度位置的指示。
发明内容
在一个实施例中,各向异性磁阻(AMR)角度传感器管芯包括AMR角度传感器。每个AMR角度传感器包括第一惠斯通电桥和第二惠斯通电桥。传感器管芯的角度位置输出包括AMR角度传感器中的每一个的角度位置输出的组合。
在另一个实施例中,各向异性磁阻(AMR)角度传感器封装包括具有AMR角度传感器的传感器管芯。AMR角度传感器中的每一个包括设置在相同平面内并且以八角形图案设置的第一惠斯通电桥和第二惠斯通电桥。传感器管芯的角度位置输出包括AMR角度传感器中的每一个的角度位置输出的组合。
在又一个实施例中,各向异性磁阻(AMR)角度传感器封装包括具有四个AMR角度传感器的传感器管芯。四个AMR角度传感器中的每一个包括第一惠斯通电桥和第二惠斯通电桥。传感器管芯的角度位置输出为四个AMR角度传感器中每一个的角度位置输出的组合。电耦合到传感器管芯的模拟前端(AFE)被配置成向四个AMR角度传感器中的每一个提供电力和接地,并且向传感器管芯的角度位置输出提供信号调节。
附图说明
图1为示出根据实施例的旋转轴和角度旋转传感器的侧视图。
图2为根据实施例的一对惠斯通电桥的电气示意图。
图3为示出根据实施例的蛇形电阻器的俯视图。
图4为示出根据实施例的以八角形布置设置的八个蛇形电阻器的俯视图。
图5为根据实施例的暴露于两个磁场的两个各向异性磁阻(AMR)角度传感器的电气示意图。
图6为根据实施例的暴露于四个磁场的四个AMR角度传感器的电气示意图。
图7为示出根据实施例的AMR传感器阵列管芯的俯视图。
图8为示出根据实施例生成四个平面内正交磁场的磁体的俯视图。
图9为示出根据实施例的各向异性磁阻(AMR)传感器管芯和模拟前端(AFE)的三维视图。
图10A为示出根据实施例的AMR传感器阵列管芯、模拟前端(AFE)和固定结构的第一物理对准的三维视图。
图10B为示出根据实施例的AMR传感器阵列管芯、模拟前端(AFE)和固定结构的第二物理对准的三维视图。
图10C为示出根据实施例的四个AMR传感器阵列管芯、模拟前端(AFE)和固定结构的物理对准的三维视图。
具体实施方式
在附图中,相同的附图标记表示相同的部件。
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