[发明专利]用于接合流体材料的感测器的方法和装置

权利要求书

1.一种感测器，包含：

基板；

至少一个感测器单元，其中所述至少一个感测器单元包括

感测器元件；

在所述至少一个感测器元件的相对端上的一对电子元件；和

设置在所述基板上的至少一个外围壁，其配置成包围所述一对电子元件和所述感测器元件的至少一部分；和

配置在所述至少一个外围壁上方的顶层，从而在每个电子元件上方设立气穴。

2.如权利要求1所述的感测器，其中，所述感测器是表面声波感测器。

3.如权利要求1所述的感测器，其中，所述感测器是体声波感测器。

4.如权利要求1所述的感测器，还包括在所述感测器元件的一部分上方的流体通道，其中，该流体通道配置成接收液体介质。

5.如权利要求1所述的感测器，其中，所述基板包括压电材料。

6.如权利要求1所述的感测器，其中，所述感测器元件包括经修饰的基板表面，该基板被配置为捕获至少一种分析物。

7.如权利要求1所述的感测器，其中，所述一对电子元件中的其中一个包括指叉换能器。

8.如权利要求1所述的感测器，其中，所述一对电子元件中的其中一个包括反射器。

9.如权利要求1所述的感测器，其中，所述至少一对电子元件中的一个包括至少一个指叉换能器。

10.如权利要求1所述的感测器，其中，所述感测器元件和所述电子元件对沿着轴线对齐排列。

11.如权利要求1所述的感测器，其中，所述液体介质被配置为通过流体通道的第一端的入口进入所述流体通道，并通过所述流体通道的第二端的出口离开所述流体通道。

12.如权利要求1所述的感测器，其中，所述至少一个外围壁由塑料片、双面胶带、注射成型材料和垫片中的任何一种形成。

13.如权利要求1所述的感测器，其中，所述电子元件上方的气穴的厚度为约0.1μm至约1mm。

14.一种将电子元件与感测器上的液体介质隔离的方法，该方法包括以下步骤：

在基板上提供至少一个外围壁，其中，所述至少一个外围壁包围所述电子元件；和

在所述外围壁的顶部提供顶层，以在所述电子元件上方设立气穴。

15.如权利要求14所述的方法，其中，在所述液体介质与所述气穴的界面处形成虚拟壁，并且所述虚拟壁由所述液体介质与所述气穴之间的压力差而界定。

16.如权利要求15所述的方法，其中，所述虚拟壁被配置为在所述压力差大于零时被设立和维持。