[发明专利]固体摄像装置

说明书

光感应区域包含第一杂质区域、及与第一杂质区域相比杂质浓度较高的第二杂质区域。光感应区域具有在第二方向上远离传送部的一端、与在第二方向上靠近传送部的另一端。第二杂质区域的俯视时的形状相对于沿着第二方向的光感应区域的中心线为线对称。第二杂质区域在第一方向上的宽度沿自一端朝向另一端的传送方向增加。将光感应区域在第二方向上分割成n个的各区间中的第二杂质区域的宽度的增加率在传送方向上逐渐增大。n为2以上的整数。

技术领域

本发明涉及一种固体摄像装置。

背景技术

已知的固体摄像装置具备：多个光电转换部，其排列于第一方向；及多个传送部，其与多个光电转换部中对应的光电转换部在与第一方向交叉的第二方向上排列(例如参照专利文献1)。各光电转换部具有根据入射光产生电荷的光感应区域。各传送部传送对应的光电转换部中产生的电荷。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-90906号公报

发明内容

发明所要解决的问题

在上述固体摄像装置中，例如，若光电转换部在第二方向上的长度较大，则光电转换部中传送电荷的距离变大。在该情况下，光电转换部需要高效地传送电荷。为了高效地传送电荷，例如，将杂质追加注入至光电转换部，使光感应区域的杂质浓度变化。上述固体摄像装置的光感应区域具有：第一杂质区域、及与第一杂质区域相比杂质浓度更高的第二杂质区域。光感应区域具有：在第二方向上远离传送部的一端、与在第二方向上靠近传送部的另一端。自一端朝向另一端的方向为电荷的传送方向。第二杂质区域呈第二方向上的宽度在传送方向上逐渐增大的梯形形状。该第二杂质区域将在传送方向上逐渐变高的电位梯度形成于光感应区域。

根据第二杂质区域的形状，有形成于光感应区域的电位梯度变化的情况。设计者们大多基于自身的感觉或经验决定第二杂质区域的形状。在该情况下，第二杂质区域难以形成充分的电位梯度来高效地传送电荷，因而有电荷传送时间增大的担忧。因此，寻求电荷传送效率的进一步提高。

本发明的一方式的目的在于提供一种提高电荷传送效率的固体摄像装置。

解决问题的技术手段

本发明者们新获得了以下见解。例如，在第二杂质区域呈梯形形状的情况下，在光感应区域中产生电位梯度较小的部位。只要第二杂质区域的形状为不易产生电位梯度较小的部位的形状，则电荷传送效率提高。本发明者们基于上述的见解，就不易产生电位梯度较小的部位的形状进行深入研究，而完成了本发明。

本发明的一方式是一种固体摄像装置，其具备：排列于第一方向的多个光电转换部、及与多个光电转换部中对应的光电转换部在与第一方向交叉的第二方向上排列的多个传送部。多个光电转换部具有根据入射光而产生电荷的光感应区域。多个传送部传送对应的光电转换部中产生的电荷。光感应区域包含第一杂质区域、及与第一杂质区域相比杂质浓度较高的第二杂质区域。光感应区域具有在第二方向上远离传送部的一端、与在第二方向上靠近传送部的另一端。第二杂质区域自光感应区域的一端或一端的附近设置至光感应区域的另一端。第二杂质区域在俯视时呈相对于沿第二方向的光感应区域的中心线为线对称的形状。第二杂质区域在第一方向上的宽度沿自一端朝向另一端的传送方向增加。将光感应区域在第二方向上分割成n个的各区间中的第二杂质区域的宽度的增加率在传送方向上逐渐增大。n为2以上的整数。