[发明专利]具有改善的热稳定性可用作硬掩膜的含旋涂式无机氧化物的组合物和填充材料

权利要求书

1.一种组合物，包含：

a.具有结构(I)的金属化合物：

其中：

M是化合价为四(4)的金属；

n是1至20的整数；

R₁,R₂,R₃,和R₄各自独立地选自：

1)第一有机部分，具有结构(II)：

其中：

R₅选自C₂-C₁₀亚烷基，C₃-C₁₂支链亚烷基，C₅-C₁₂亚环烷基，含C＝C双键的C₂-C₁₀亚烷基，含C＝C双键的C₃-C₁₂支链亚烷基，和含C＝C双键的C₅-C₁₂亚环烷基；和

R₆是氢或具有结构(III)的烷氧基羰基

其中，R₇是C₁-C₈烷基；

2)具有至少2个碳且具有结构(IV)的含硅有机部分：

其中：

R₈和R₉各自独立地选自C₁-C₈烷基，C₃-C₁₂支链烷基，C₁-C₈烷氧基，C₃-C₁₂支链烷氧基，和C₆-C₁₆芳基；

R₁₀选自C₁-C₈烷基，C₆-C₁₆芳基，羟基和具有结构(V)的硅氧烷：

其中：

R₁₁选自氢，C₁-C₈烷基，羟基取代的C₁-C₈烷基，C₆-C₁₆芳基，和具有结构(IVa)的甲硅烷基部分；

其中，R_8a和R_9a各自独立地选自C₁-C₈烷基，C₃-C₁₂支链烷基，C₁-C₈烷氧基，C₃-C₁₂支链烷氧基，和C₆-C₁₆芳基且R_10a选自C₁-C₈烷基，和C₆-C₁₆芳基；

R₁₂和R₁₃各自独立地选自C₁-C₈烷基，C₃-C₁₂支链烷基，C₁-C₈烷氧基，C₃-C₁₂支链烷氧基，和C₆-C₁₆芳基；和

p表示硅氧烷部分(V)中重复单元的数目；

3)第二有机部分，选自C₂-C₈烷基，C₂-C₈烷基羧基，C₆-C₂₀芳基羧基，芴基羧基，氟代的C₂-C₈烷基羧基，C₂-C₈烷基磺酰基，氟代的C₂-C₈烷基磺酰基及其混合物；和

4)其混合物；

b.包含具有结构(VI)的多元醇添加剂的任选的组分：

其中，

X是C或N；r至少为2；

q是0至2；

条件是当X是C时，q和r的和是4，并其当X是N时,q和r的和是3；

R₁₄选自氢，C₁-C₈烷基和C₂-C₈羟基烷基；

当X是N时，Y是C₁-C₈亚烷基，或者，当X是C时,Y选自直接的价键，C₁-C₈亚烷基和具有结构(VII)的部分：

其中，

R₁₅是C₂-C₈亚烷基；

s是0至2；且

t是1至2；

c.高性能聚合物添加剂，包含具有结构(VIII)的单元

其中，

A包含稠合的芳环；

B具有结构(IX)：

其中，R₁₆和R₁₇各自独立地为氢或C₁-C₄烷基；和

C为具有结构(X)的羟基联苯：

和

d.溶剂。