[发明专利]用于电子器件的测试设备的接合元件及相应的制造方法

权利要求书

1.一种用于电子器件的测试设备的接合元件(20)，所述接合元件(20)包括设置有多个贯通开口(22)的至少一个支撑件(21)，所述多个贯通开口(22)容纳有各自的互连元件(23)，每个互连元件包括主体(23’)，所述互连元件(23)在第一端(23a)和第二端(23b)之间延伸，其中所述主体(23’)、所述第一端(23a)和所述第二端(23b)一体形成，其中，所述互连元件(23)由填充开口(22)的导电弹性体制成，各个互连元件(23)在支撑件(21)的不同且相对的面(Fa，Fb)之间形成导电通道，

其中，互连元件(23)的第一端(23a)和第二端(23b)中的至少一个从开口(22)突出，

其中，从开口(22)突出的端(23a，23b)的截面(S1)小于互连元件(23)的容纳于开口(22)内的一部分的截面(S2)，并且其中，从开口突出的至少一端(23a，23b)的截面被配置为当压在待测器件的接触垫上时允许其变形，使得在相邻的互连元件之间没有电连接。

2.根据权利要求1所述的接合元件(20)，其中，从开口(22)突出的端(23a，23b)的末端部分包括金属涂层部分(28)。

3.根据权利要求1所述的接合元件(20)，其中，互连元件(23)的端(23a，23b)中的至少一个包括导电接触元件(29)，导电接触元件(29)的第一端部插入端(23a，23b)中的至少一个，导电接触元件(29)的与第一端部相对的第二端部从所述端(23a，23b)中的至少一个突出。

4.根据权利要求1所述的接合元件(20)，其中，互连元件(23)的长度在100μm至300μm之间，所述长度沿所述互连元件(23)的纵轴线(H-H)测量。

5.根据权利要求1所述的接合元件(20)，其中，形成互连元件(23)的导电弹性体包括弹性材料，所述弹性材料又包括导电材料的微米或纳米颗粒(23p)。

6.根据权利要求1所述的接合元件(20)，其中，开口(22)的壁的至少一部分被导电部分(22w)覆盖。

7.根据权利要求1所述的接合元件(20)，其中，互连元件(23)的端(23a，23b)中的一个端适于接触待测器件的接触垫(24)，所述互连元件(23)的所述端(23b，23a)的另一端适于接触与接合元件(20)相关联的空间变换器(27)的接触垫(26)。

8.根据权利要求1所述的接合元件(20)，其中，互连元件(23)的端(23a，23b)适于接触与接合元件(20)相关联的部件的接触垫，所述部件之间设置有接合元件(20)，接合元件(20)在所述部件之间提供机械连接和电气连接。

9.一种用于电子器件的测试设备的探针卡(40)，包括根据权利要求1所述 的至少一个接合元件(20)，所述至少一个接合元件(20)适于通过互连元件(23)执行与待测器件的接触垫(24)的接触和/或在探针卡(40)的不同部件之间用作电气连接和机械连接的元件。

10.根据权利要求9所述的探针卡(40)，其中，接合元件(20)布置在空间变换器(27)与包括多个接触探针(36)的测试头(35)之间，接触探针(36)在头部(36b)和适于与接触垫(24)接触的尖端部分(36a)之间延伸，并被容纳在至少一个导引件(37)的导引孔(37h)中，接触探针(36)的头部(36b)与互连元件(23)的第一端(23a)相关联。

11.根据权利要求10所述的探针卡(40)，其中，所述接触探针(36)为T形，其中，T的头部对应于接触探针(36)的头部(36b)，并且适于抵靠在互连元件(23)的突出的第一端(23a)上。