[发明专利]光源装置、曝光装置以及光源装置的判定方法

说明书

本发明提供一种在用于印刷布线基板等的曝光的曝光装置中，具备用于以高精度、短时间且低成本识别成为光源的放电灯是否为正品、以及是新品还是旧品的判定用电路的光源装置。光源装置(100)利用成为光源的放电灯(110)、判定用电路(200)、和安装有放电灯(110)以及判定用电路(200)的反射器容器(151)而构成。并且，判定用电路(200)利用用于检测放电灯(110)是否为正品的RC并联电路(210)、和为了判别放电灯(110)是否为新品而相对于RC并联电路(210)串联连接的熔断器(220)而构成。

技术领域

本发明涉及在用于印刷布线基板等的曝光的曝光装置中，具备用于对成为光源的放电灯是否为正品、以及是新品还是旧品进行检测的判定用电路的光源装置、使用该光源装置的曝光装置、以及光源装置的判定方法。

背景技术

以往，为了将部件安装于电子设备而使用了在树脂或玻璃环氧材料的基板上用铜等金属形成了布线图案而成的印刷布线基板。为了向这些印刷布线基板上形成布线图案而使用了光刻技术。光刻通过如下方式来进行，即：在整面形成有成为布线的金属层的基板整面上，涂敷作为感光性的药剂的光致抗蚀剂，通过与布线图案相同的光掩模对其照射来自曝光装置的照射光。

在光致抗蚀剂中，存在光致抗蚀剂的溶解性由于照射光而降低的负型光致抗蚀剂、以及反之光致抗蚀剂的溶解性由于照射光而增大的正型光致抗蚀剂。若对溶解性由于照射光而相对增大的光致抗蚀剂部分进行化学处理而将其除掉，并利用蚀刻将露出的金属层除去，则会仅残留位于光致抗蚀剂保留的部分之下的金属层，通过除去光致抗蚀剂从而在基板上形成布线图案。在将照射光向正型、负型中的任意一种光致抗蚀剂进行照射的情况下，为了遍及照射面整面地确保均匀的曝光量，需要以均匀的照度将稳定的照射光照射固定的时间。

另外，在印刷布线基板的制造中，为了制造工序的高效化而制作形成有多个电路的一块大型印刷布线基板，并在基板完成后进行如下处理，即：通过分割为单个电路而用于所期望的电子设备。

伴随这样的印刷布线基板的大型化，曝光装置制造商想要将作为光源的放电灯大型化以得到高照度、或者设为使用了多个低照度的小型的放电灯的多灯的光源以确保所需要的照度。例如，代替使用一个8kW的高压放电灯的光源而使用四个2kW的高压放电灯的光源等。低照度的放电灯与高照度的放电灯相比，在制造难易度、制造成本上具有优势，已经销售了大量的具有多灯的光源的曝光装置。

但是，伴随这样的光源的多灯化，从确保均匀的曝光量的必要性出发，多个放电灯彼此的均质性变得更为重要。因此，为了使曝光装置的性能稳定、制造可靠性高的印刷布线基板，需要仅使用由同一制造商以同一材料、同一工艺制作的正品的放电灯，需要判定放电灯是否为正品的装置以及判定方法。

不限于曝光装置，在光学装置中，已知几个判定所使用的放电灯、光源的方法(例如，参照专利文献1～3)。例如，在专利文献1所记载的灯异常检测装置中，向卤素灯等使用了灯丝的白炽灯泡供给给定电压，对灯丝处于半切断状态时的电流值与灯丝正常时的电流值进行比较来检测有异常的灯。但是，对于这种方法而言，即使能够检测灯的寿命，也难以判定灯是否为正品。

此外，例如在专利文献2中，设为将白炽灯或者荧光灯这样的光源与并联连接有电阻以及电容器的电路进行连接，测定对该光源的两端供给了给定电压时的时间常数(电阻值与容量值的乘积)来检测光源是白炽灯还是荧光灯。但是，对于这种方法而言，即使能够检测时间常数的较大差异(白炽灯的时间常数与荧光灯的时间常数较大不同)，也难以在相同的白炽灯间判定是否为正品。

另外，例如在专利文献3中，设为在向封入到同一白炽灯泡的灯泡内的多个灯丝放射紫外线的同时测定这些灯丝间的放电开始电压，来检测不合格品。但是，对于这种方法而言，即使能够检测不合格品，也难以判定灯是否为正品。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP特公平7-52677号公报