[发明专利]傅立叶光谱分析装置

权利要求书

1.一种傅立叶光谱分析装置，其特征在于，包括：

干涉仪，向作为分析对象的试样照射作为干涉光的干涉图；

受光部，输出第一受光信号和第二受光信号，所述第一受光信号是在所述干涉图透射所述试样所得到的透射光或者所述干涉图被所述试样反射所得到的反射光中包含的波长成分中，接收作为求出光谱的波长带的第一波长带的波长成分而得到的，所述第二受光信号是接收与所述第一波长带不同的第二波长带的波长成分而得到的；以及

信号处理装置，使用所述第一受光信号和所述第二受光信号，进行除去所述第一波长带的波长成分中叠加的因所述试样的光学特性的时间变化引起的噪声的处理和通过傅立叶变换处理求出所述第一波长带的波长成分的光谱的处理，

所述信号处理装置包括：

噪声除去部，通过进行从所述第一受光信号中减去所述第二受光信号的处理，进行除去叠加于所述第一受光信号的所述噪声的处理；以及

傅立叶变换部，对通过所述噪声除去部的处理除去了噪声后的所述第一受光信号进行傅立叶变换处理，求出所述第一波长带的波长成分的光谱，

所述受光部包括：

第一检测器，与所述第二波长带的波长成分相比对所述第一波长带的波长成分的检测灵敏度相对高；

第二检测器，与所述第一波长带的波长成分相比对所述第二波长带的波长成分的检测灵敏度相对高，

所述第一检测器和所述第二检测器依次配置在所述透射光或反射光的光路上。

2.一种傅立叶光谱分析装置，其特征在于，具备：

干涉仪，向作为分析对象的试样照射作为干涉光的干涉图；

受光部，输出第一受光信号和第二受光信号，所述第一受光信号是在所述干涉图透射所述试样所得到的透射光或者所述干涉图被所述试样反射所得到的反射光中包含的波长成分中，接收作为求出光谱的波长带的第一波长带的波长成分而得到的，所述第二受光信号是接收与所述第一波长带不同的第二波长带的波长成分而得到的；以及

信号处理装置，使用所述第一受光信号和所述第二受光信号，进行除去所述第一波长带的波长成分中叠加的因所述试样的光学特性的时间变化引起的噪声的处理和通过傅立叶变换处理求出所述第一波长带的波长成分的光谱的处理，

所述信号处理装置包括：

傅立叶变换部，对所述第一受光信号和所述第二受光信号单独进行傅立叶变换处理，分别求出第一光谱和第二光谱，

噪声除去部，通过进行从所述第一光谱中减去所述第二光谱的处理，进行除去叠加于所述第一光谱的噪声的处理，

所述受光部包括：

第一检测器，与所述第二波长带的波长成分相比对所述第一波长带的波长成分的检测灵敏度相对高；

第二检测器，与所述第一波长带的波长成分相比对所述第二波长带的波长成分的检测灵敏度相对高，

所述第一检测器和所述第二检测器依次配置在所述透射光或反射光的光路上。