[发明专利]一种表面声波器件在审
| 申请号： | 201880059054.1 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN111095794A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 陈卓辉 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H3/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 表面 声波 器件 | ||
1.一种表面声波(surface acoustic wave，SAW)器件，其特征在于，包括：
压电层；
在所述压电层的第一表面上与所述压电层耦合的高声速层；以及
所述压电层和所述高声速层之间的至少一个换能器，其中，所述至少一个换能器包括第一多层石墨烯层，所述至少一个换能器用于沿着所述压电层传播具有工作波长(λ)的表面声波。
2.根据权利要求1所述的SAW器件，其特征在于，所述第一多层石墨烯层包括2-10个原子层的石墨烯。
3.根据权利要求2所述的SAW器件，其特征在于，所述第一多层石墨烯层包括3-5个原子层的石墨烯。
4.根据权利要求1至3中至少一项所述的SAW器件，其特征在于，还包括：
与所述压电层的第二表面耦合的导电层，所述压电层的所述第二表面与所述压电层的所述第一表面相对。
5.根据权利要求4所述的SAW器件，其特征在于，所述导电层是与金属层耦合的第二多层石墨烯层。
6.据权利要求4所述的SAW器件，其特征在于，所述导电层是第二多层石墨烯层。
7.根据权利要求5和6中任一项所述的SAW器件，其特征在于，所述第二多层石墨烯层包括3-10个原子层的石墨烯。
8.根据权利要求1所述的SAW器件，其特征在于，所述换能器包括与金属层耦合的所述第一多层石墨烯层。
9.根据权利要求8所述的SAW器件，其特征在于，所述第一多层石墨烯层包括3-10个原子层的石墨烯。
10.根据权利要求1所述的SAW器件，其特征在于，所述至少一个换能器嵌入到所述压电层中。
11.根据权利要求1所述的SAW器件，其特征在于，所述至少一个换能器嵌入到所述高声速层中。
12.一种表面声波(surface acoustic wave，SAW)器件，其特征在于，包括：
压电层；
在所述压电层的第一表面上与所述压电层耦合的高声速层；
所述压电层和所述高声速层通过导电层相互耦合；以及
与所述压电层的第二表面耦合的至少一个换能器，所述压电层的所述第二表面与所述压电层的所述第一表面相对，其中，所述至少一个换能器包括与金属层耦合的第一多层石墨烯层，所述至少一个换能器用于沿着所述压电层传播具有工作波长(λ)的表面声波。
13.根据权利要求12所述的SAW器件，其特征在于，所述导电层是第二多层石墨烯层。
14.根据权利要求13所述的SAW器件，其特征在于，所述第二多层石墨烯层包括3-10个原子层的石墨烯。
15.根据权利要求12所述的SAW器件，其特征在于，所述第一多层石墨烯层包括3-10个原子层的石墨烯。
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