[发明专利]陶瓷压力传感器

权利要求书

1.一种陶瓷压力传感器(1)，包括：陶瓷体(2)，所述陶瓷体包括由陶瓷材料制成的柔性膜(4)，所述柔性膜能够由于要感测的压力而变形，以及由陶瓷材料制成的刚性支撑件(5)，所述刚性支撑件用于支撑所述柔性膜(4)；以及电子电路(3a, 3b, 3c)，所述电子电路由所述陶瓷体(2)支撑并且包括导电连接迹线(9)和丝网印刷在所述柔性膜(4)上的电阻电桥以及丝网印刷在所述刚性支撑件(5)上的导电迹线(9)，所述电子电路(3a, 3b, 3c)被配置为根据所述柔性膜(4)的所述变形而生成电信号，所述陶瓷压力传感器的特征在于其进一步包括由陶瓷材料制成的保护元件(6)，所述保护元件永久性地接合到所述陶瓷体(2)的所述刚性支撑件(5)的平面(14)，所述保护元件(6)完全定位在所述平面（14）的周边内并且与所述陶瓷体(2)的所述刚性支撑件(5)的所述平面(14)一起界定用于容纳所述电子电路(3a,3b, 3c)的至少一部分的容纳室(7)，进一步设置有用于将所述电子电路(3a, 3b, 3c)的所述至少一部分与所述容纳室(7)的外部连接起来的电连接装置(8)，所述电子电路(3a, 3b,3c)包括用于生成所述电信号的生成级(3a)、用于调节所获取的电信号的调节级(3b)以及用于输出所获取的信号并对其进行外部读取的输出级(3c)，所述调节级(3b)包括在所述陶瓷体(2)的所述刚性支撑件(5)的所述平面(14)上定位在所述容纳室(7)中的分立组件；所述输出级(3c)被定位在所述容纳室(7)的外部、在所述刚性支撑件(5)的所述平面(14)上，丝网印刷在所述刚性支撑件(5)上的所述导电迹线(9)包括丝网印刷在所述刚性支撑件(5)的所述平面(14)上的导电迹线，所述导电迹线将所述调节级(3b)连接到所述输出级(3c)，所述电连接装置(8)包括所述导电迹线的部分(8a)，所述部分(8a)在所述保护元件(6)与所述刚性支撑件(5)之间的接合区域(18)中与所述容纳室(7)的壁交叉；其中所述容纳室(7)被气密密封；所述陶瓷体(2)由以电和机械方式相互连接的两个不同零件形成，一个零件限定所述柔性膜(4)，另一个零件限定所述刚性支撑件(5)，所述两个不同零件由厚度不同的两个重叠平片形成，所述两个重叠平片被取向成它们的主放置平面平行。

2.根据权利要求1所述的陶瓷压力传感器(1)，其特征在于，所述电连接装置(8)包括所述导电迹线(9)的部分(8a)，所述部分在所述保护元件(6)与所述陶瓷体(2)之间的接合区域(18)中穿过所述容纳室(7)。

3.根据权利要求1所述的陶瓷压力传感器(1)，其特征在于，所述电连接装置(8)包括穿过所述保护元件(6)的壁的金属化孔(8b)。

4.根据权利要求1所述的陶瓷压力传感器(1)，其特征在于，所述电连接装置(8)包括在支撑在所述保护元件(6)内部的柱(30)内形成的金属化孔(8c)，所述金属化孔(8c)穿过所述保护元件(6)的所述壁。

5.根据权利要求1所述的陶瓷压力传感器(1)，其特征在于，所述电连接装置(8)包括支撑在所述保护元件(6)内部并延伸穿过孔(31)的引脚(8d)，所述孔穿过所述保护元件(6)的所述壁。

6.根据前述权利要求中任一项所述的陶瓷压力传感器(1)，其特征在于，所述导电迹线(9)在所述保护元件(6)的外表面上延伸。

7.根据权利要求1所述的陶瓷压力传感器(1)，其特征在于，所述保护元件(6)是刚性的。

8.根据前述权利要求1至5中任一项所述的陶瓷压力传感器(1)，其特征在于，气密密封的所述容纳室(7)处于真空下或者填充有惰性气体或湿度受控的空气。

9.根据前述权利要求1至5中任一项所述的陶瓷压力传感器(1)，其特征在于，所述容纳室(7)将所述生成级(3a)和所述调节级(3b)均容纳在其内部，并且将所述输出级(3c)容纳在其外部。