[发明专利]压电器件以及压电器件的制造方法

说明书

压电器件具备：至少一部分能够弯曲振动且极化状态相同的压电单晶体(10)、配置在压电单晶体(10)的上表面上的上部电极(22)、配置在压电单晶体(10)的下表面上的下部电极(21)、和配置在压电单晶体(10)的下方的支承基板(40)，设置有从支承基板(40)的下表面朝向压电单晶体(10)的下表面上的凹部(141)。

技术领域

本发明涉及压电器件以及压电器件的制造方法。

背景技术

一直在对用于时钟用振荡器、压电蜂鸣器等的、具有单压电晶片(unimorph)构造、双压电晶片(bimorph)构造的振子进行开发。单压电晶片构造是压电体和非压电体或不被施加电压的压电体的层叠构造。在压电体的上部配置上部电极，在压电体的下部配置下部电极。若使用上部电极以及下部电极对压电体施加电压，则压电体欲在面内方向上进行伸缩。但是，因为非压电体或不被施加电压的压电体不进行伸缩，所以单压电晶片构造进行弯曲振动。双压电晶片构造是两层的压电体的层叠构造。在两层的压电体之间，有时夹着被称为垫片的金属板等弹性板。若对两层的压电体施加电压，则一个压电体在面内方向上伸长，另一个压电体欲在面内方向上收缩，因此两层的压电体作为整体进行弯曲。压电体例如由氮化铝(AlN)以及锆钛酸铅(PZT)等构成(例如，参照专利文献1、2)。压电体例如使用蒸镀法、溅射法、激光烧蚀法、以及化学蒸镀(CVD)法等形成在下部电极上。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第4404218号公报

专利文献2：日本专利第6132022号公报

发明内容

发明要解决的课题

要求可靠性更高的压电器件。本发明是鉴于这样的情形而完成的，其目的之一在于，提供一种可靠性高的压电器件以及压电器件的制造方法。

用于解决课题的手段

本发明的一个方面涉及的压电器件具备：压电单晶体，至少一部分能够弯曲振动且极化状态相同；上部电极，配置在压电单晶体的上表面上；下部电极，配置在压电单晶体的下表面上；和支承基板，配置在压电单晶体的下方，设置有从支承基板的下表面朝向压电单晶体的下表面上的凹部。

此外，本发明的一个方面涉及的压电单晶体的至少一部分能够弯曲振动的压电器件的制造方法包括：准备极化状态相同的压电单晶体；在压电单晶体的下表面上形成下部电极；在压电单晶体的上表面上形成上部电极；在压电单晶体的下方配置支承基板；和设置从支承基板的下表面朝向压电单晶体的下表面上的凹部。

发明效果

根据本发明，能够提供一种可靠性高的压电器件以及压电器件的制造方法。

附图说明

图1是示出第1实施方式涉及的压电器件的顶视立体图。

图2是示出从图1的II-II方向观察的、第1实施方式涉及的压电器件的示意性立体图。

图3是示出第1实施方式涉及的压电器件的底视立体图。

图4是示出第1实施方式涉及的压电器件的制造方法的示意性剖视图。

图5是示出第1实施方式涉及的压电器件的制造方法的示意性剖视图。

图6是示出第1实施方式涉及的压电器件的制造方法的示意性剖视图。

图7是示出第1实施方式涉及的压电器件的制造方法的示意性剖视图。

图8是示出第1实施方式涉及的压电器件的制造方法的示意性剖视图。

图9是示出第1实施方式涉及的压电器件的制造方法的示意性剖视图。