[发明专利]超声换能器装置、声学生物计量成像系统以及制造方法

权利要求书

1.一种制造用于在声学生物计量成像系统中使用的超声换能器装置的方法，所述方法包括以下步骤：

制造超声换能器面板；以及

将所述超声换能器面板分割成所述超声换能器装置，

其中，制造所述超声换能器面板的步骤包括以下步骤：

提供第一载体；

在所述第一载体上间隔地布置多个压电元件；

在所述多个压电元件上涂敷介电材料以将所述多个压电元件中的每个压电元件嵌入所述介电材料中，从而在所述第一载体上形成压电元件装置层；

减薄所述压电元件装置层，从而得到所述多个压电元件中的每个压电元件的露出的第一侧；

在所述压电元件装置层上形成第一电极层，所述第一电极层包括第一换能器电极，所述第一换能器电极处于所述压电元件装置层中的每个压电元件的所述露出的第一侧上；以及

将所述压电元件装置层与所述第一载体分开。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，制造所述超声换能器面板的步骤还包括以下步骤：

将所述压电元件装置层和所述第一电极层夹在所述第一载体与第二载体之间；以及

在将所述压电元件装置层与所述第一载体分开之后，在所述压电元件装置层上形成第二电极层，所述第二电极层包括第二换能器电极，所述第二换能器电极处于所述压电元件装置层中的每个压电元件的与所述第一侧相对的第二侧上。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，制造所述超声换能器面板的步骤还包括以下步骤：

在将所述压电元件装置层与所述第一载体分开之后并且在形成所述第二电极层之前，减薄所述压电元件装置层。

4.根据权利要求2或3所述的方法，其中，制造所述超声换能器面板的步骤还包括以下步骤：

提供穿过所述压电元件层的多个导电通孔。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述第二电极层被形成为使得每个第二换能器电极导电地连接至所述多个导电通孔中的至少一个导电通孔。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，制造所述超声换能器面板的步骤还包括以下步骤：

提供穿过所述压电元件层的多个导电通孔。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述第一电极层被形成为使得每个第一换能器电极导电地连接至所述多个导电通孔中的至少一个导电通孔。

8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，制造所述超声换能器面板的步骤还包括以下步骤：

在形成所述第一电极层的步骤之后，形成间隔件结构，其保持所述第一换能器电极中的每个的至少一部分不被覆盖。

9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，通过切断嵌有所述多个压电元件的所述介电材料来分割所述超声换能器面板。

10.一种用于在声学生物计量成像系统中使用的超声换能器装置，所述超声换能器装置包括：

压电元件，其具有第一面、与所述第一面相对的第二面、以及在所述第一面与所述第二面之间延伸的侧边；

第一换能器电极，其处于所述压电元件的第一面上；

第二换能器电极，其处于所述压电元件的第二面上；以及

介电材料，所述压电元件以所述侧边被所述介电材料完全覆盖的方式嵌入所述介电材料中。

11.根据权利要求10所述的超声换能器装置，其中，所述第一换能器电极和所述第二换能器电极中的至少一者部分地覆盖嵌有所述压电元件的所述介电材料。

12.根据权利要求10或11所述的超声换能器装置，其中，嵌有所述压电元件的所述介电材料至少在所述压电元件的侧边处与所述压电元件的第一面共面。