[发明专利]薄膜的制造方法

权利要求书

1.一种薄膜的制造方法，其包括：

工序A，将涂布液涂布于支撑体上而形成涂布膜，所述涂布液至少含有覆膜形成化合物、聚合物及溶剂，该聚合物是具有氟代脂肪族基团的聚合物并且是以固体成分55质量％溶解于甲基乙基酮中而得的溶液的粘度在液温60℃下为15mPa·s以上的聚合物；

工序B，以显示出0.02g/m²/s以上且0.1g/m²/s以下的质量变化的速度，将所述工序A中形成的涂布膜干燥，该干燥的时长为满足下述条件A的t秒的2倍秒以上的时间；及

工序C，以显示0.02g/m²/s以上且0.2g/m²/s以下的质量变化的速度对所述工序B后的涂布膜进行干燥，工序C中的干燥速度大于工序B中的干燥速度或者与工序B中的干燥速度相同，

条件A：在通过最大气泡压力法测定所述涂布液的液温25℃的动态表面张力的情况下，将气泡生成时间为5秒的动态表面张力设为γ1，并将气泡生成时间比5秒短的t秒的动态表面张力设为γ2时，满足γ2/γ1≤1.05，

其中，

所述涂布液的固体成分浓度为70质量％以上，

所述具有氟代脂肪族基团的聚合物是含有与由下述通式1表示的单体相对应的重复单元的聚合物，

通式1中，R¹表示氢原子、卤原子或甲基，X表示氧原子、硫原子或-N(R¹²)-，R¹²表示氢原子或碳原子数1～8的烷基，R_f表示-CF₂H，m表示1～6的整数，n表示1～11的整数。

2.根据权利要求1所述的薄膜的制造方法，其中，

所述工序A以所述涂布膜的膜厚达到25μm以上的涂布量将所述涂布液涂布于所述支撑体上。

3.根据权利要求1或2所述的薄膜的制造方法，其中，

关于所述涂布液，从将固体成分浓度调整为90质量％时所表现出的表面张力减去将固体成分浓度调整为60质量％时所表现出的表面张力而得的值为1mN/m以内。

4.根据权利要求1或2所述的薄膜的制造方法，其中，

所述聚合物以固体成分55质量％溶解于甲基乙基酮而得的溶液的粘度在液温60℃下为25mPa·s以上且50mPa·s以下。

5.根据权利要求1或2所述的薄膜的制造方法，其中，

所述支撑体为连续支撑体。

6.根据权利要求1或2所述的薄膜的制造方法，其中，

所述涂布液含有聚合引发剂及作为所述覆膜形成化合物的聚合性化合物。

7.根据权利要求6所述的薄膜的制造方法，其进一步包括：对所述工序C后的涂布膜照射活性能量射线的工序D。