[发明专利]流化床式反应装置以及三氯硅烷的制造方法

权利要求书

1.一种流化床式反应装置，使金属硅粉与氯化氢气体进行反应来生成三氯硅烷，其特征在于，

具备收纳所述金属硅粉及所述氯化氢气体的反应容器；

所述反应容器具有包围流动层的侧壁，所述流动层是所述金属硅粉随着所述氯化氢气体流动而形成；

在所述反应容器下部设置有供给所述氯化氢气体的气体供给口；并且

在从所述气体供给口至所述流动层的上表面为止的高度的至少80％以上的范围内，所述侧壁为所述反应容器的与高度方向正交的横截面的截面积朝向上方增大的锥形形状。

2.根据权利要求1所述的流化床式反应装置，其特征在于，

还具备分散板，其具有所述气体供给口且使所述氯化氢气体从所述气体供给口分散；

所述分散板设置于所述反应容器下部；并且

所述侧壁从所述流动层与所述分散板的边界位置起成为所述锥形形状。

3.根据权利要求1或2所述的流化床式反应装置，其特征在于，

所述侧壁在从所述气体供给口至所述流动层的上表面为止的整体高度上成为所述锥形形状。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的流化床式反应装置，其特征在于，

所述锥形形状的锥角是所述高度方向与所述侧壁的所述锥形形状的部分所形成的角度，为3.0°以上7.0°以下。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的流化床式反应装置，其特征在于，

所述反应容器还具有自由段部，其是由从所述侧壁起沿着所述高度方向而延伸存在的外壁所形成；

在所述反应容器上部设置有排出口，将通过所述金属硅粉与所述氯化氢气体的反应而形成的生成物排出；

所述自由段部将从所述流动层上升的所述生成物引导至所述排出口；

所述自由段部的沿着所述高度方向的长度L相对于所述自由段部的与所述高度方向正交的横截面的直径D的比率L/D为1.5以上。

6.一种三氯硅烷的制造方法，其特征在于，

包括如下步骤：使用根据权利要求1至5中任一项所述的流化床式反应装置，使所述金属硅粉与所述氯化氢气体进行反应。