[发明专利]位置检测传感器和位置测量装置

权利要求书

1.一种检测光的入射位置的位置检测传感器，其特征在于，包括：

受光部，其具有分别包含生成与所述光的入射光量相应的第1电信号的第1像素和沿第1方向与所述第1像素排列配置且生成与所述光的入射光量相应的第2电信号的第2像素并沿所述第1方向排列的多个像素对；和

计算部，其通过使用所述第1电信号的强度和所述第2电信号的强度进行重心运算，计算作为所述第1方向上的所述入射位置的第1位置，

在所述第1像素所述入射位置越接近所述受光部的与所述第1方向交叉的第2方向上的一端，所述第1电信号的强度就越减弱，

在所述第2像素所述入射位置越接近所述第2方向上的所述一端，所述第2电信号的强度就越增强，

所述计算部还基于对所述第1电信号的强度进行累计而得到第1累计值和对所述第2电信号的强度进行累计而得到的第2累计值，计算作为所述第2方向上的所述入射位置的第2位置。

2.如权利要求1所述的位置检测传感器，其特征在于：

所述受光部还包括覆盖所述第1像素并使所述光透射的第1透射滤光片和覆盖所述第2像素并使所述光透射的第2透射滤光片，

所述第1透射滤光片的所述光的透射率越接近所述第2方向的所述一端就越减小，

所述第2透射滤光片的所述光的透射率越接近所述第2方向的所述一端就越增大。

3.如权利要求1所述的位置检测传感器，其特征在于：

所述受光部还包括覆盖所述第1像素的除一部分以外的其它部分并将所述光遮光的第1遮光部和覆盖所述第2像素的除一部分以外的其它部分并将所述光遮光的第2遮光部，

所述第1像素的一部分的所述第1方向的宽度越接近所述第2方向上的所述一端就越减小，

所述第2像素的一部分的所述第1方向的宽度越接近所述第2方向上的所述一端就越增大。

4.如权利要求1所述的位置检测传感器，其特征在于：

所述第1像素的所述第1方向的宽度越接近所述第2方向上的所述一端就越减小，

所述第2像素的所述第1方向的宽度越接近所述第2方向上的所述一端就越增大。

5.一种测量光的入射位置的位置测量装置，其特征在于，包括：

权利要求1～4中的任一项所述的位置检测传感器；和

将所述光向所述受光部照射的光源，

向所述受光部照射的所述光的直径为所述第1像素的所述第1方向的宽度的最大值和所述第2像素的所述第1方向的宽度的最大值中较大的值的2倍以上。