[发明专利]教学数据制作方法及装置以及缺陷检查方法及装置

权利要求书

1.一种教学数据制作方法，其具备：

训练用图像获取步骤，获取包含受光图像的训练用图像，所述受光图像是通过对具有缺陷的被检体照射光线或放射线而得到并且是根据来自所述被检体的反射光或透射光而制作的；

频率分布分析步骤，对所述训练用图像执行频率分布分析；

输入步骤，接收用于指定频带的参数的输入；

频带选择步骤，根据由所述参数指定的所述频带，从所述频率分布分析的分析结果选择频带信号；及

教学数据制作步骤，针对与所述频带信号对应的图像获取表示缺陷的缺陷信息，并且根据所述缺陷信息制作在用于检查所述被检体的缺陷的缺陷检查装置的学习中使用的教学数据。

2.根据权利要求1所述的教学数据制作方法，其中，

所述教学数据制作方法还具备：

显示步骤，在显示部中显示与在所述频带选择步骤中选择的所述频带信号对应的图像，

在所述教学数据制作步骤中，针对在所述显示部中显示的与所述频带信号对应的图像，接收表示缺陷或非缺陷的命令的输入，并且根据所述命令制作所述教学数据。

3.根据权利要求1所述的教学数据制作方法，其中，

在所述训练用图像获取步骤中，表示在所述训练用图像中包含的所述被检体的缺陷的缺陷信息与所述训练用图像建立关联地存储于存储部中，

在所述教学数据制作步骤中，获取与所述训练用图像建立关联地存储的所述缺陷信息，并且根据所述缺陷信息制作所述教学数据。

4.根据权利要求3所述的教学数据制作方法，其中，

在所述教学数据制作步骤中，获取包含所述被检体的缺陷的种类及缺陷的位置中的至少1个的缺陷信息。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的教学数据制作方法，其中，

所述教学数据制作方法还具备接收与所述被检体的材质及所述被检体中的缺陷对应的多个带通滤波器的登记的步骤，

在所述输入步骤中，接收从所述多个带通滤波器中指定用于选择所述频带信号的带通滤波器的参数的输入，

在所述频带选择步骤中，使用由所述参数指定的带通滤波器来选择所述频带信号。

6.根据权利要求5所述的教学数据制作方法，其中，

在所述输入步骤中，根据所述被检体的材质，指定用于选择所述频带信号的带通滤波器。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的教学数据制作方法，其中，

在所述教学数据制作步骤中，制作包含选自所述训练用图像的所述频带信号及所述缺陷信息的教学数据。

8.一种缺陷检查方法，其具备：

使用通过权利要求1至7中任一项所述的教学数据制作方法制作的教学数据来进行缺陷检查装置中的学习的步骤；

获取检查对象图像的步骤，所述检查对象图像是通过对检查对象的被检体照射光线或放射线而得到并且是根据来自所述检查对象的被检体的反射光或透射光而制作的；及

通过进行了所述学习的所述缺陷检查装置来检测所述检查对象图像中的缺陷的缺陷检查步骤。

9.根据权利要求8所述的缺陷检查方法，其中，

所述缺陷检查步骤具备：

对所述检查对象图像执行频率分布分析的步骤；

从针对所述检查对象图像的所述频率分布分析的分析结果选择频带信号的步骤；及

根据选自针对所述检查对象图像的所述频率分布分析的分析结果的频带信号及所述教学数据来检测所述检查对象图像中的缺陷的步骤。