[发明专利]脱气装置在审
申请号: | 201880060606.0 | 申请日: | 2018-06-21 |
公开(公告)号: | CN111093790A | 公开(公告)日: | 2020-05-01 |
发明(设计)人: | 神宫句实子 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | B01D19/00 | 分类号: | B01D19/00;B01D61/00;B01D63/06;B01D65/06;G01N30/26 |
代理公司: | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人: | 杨楷;毛立群 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 脱气 装置 | ||
1.一种脱气装置,设置在由送液泵送液的流动相的流通路径上并用于进行流动相的脱气,其特征在于,具备:
脱气流路,由使气体通过而液体不通过的透气性管构成;
真空腔室,在内部收容所述脱气流路;
真空泵,与所述真空腔室连接,用于对所述真空腔室内减压;
入口流路,用于将流动相向所述脱气流路引导;
出口流路,用于使经过所述脱气流路的流动相流出;
排液流路,与所述出口流路独立设置,用于使所述脱气流路内的流动相从所述脱气流路流出;
下游侧切换部,构成为将所述脱气流路的下游端切换连接于所述出口流路或所述排液流路中的任一个;
控制部,构成为控制所述下游侧切换部的动作,在由所述送液泵进行的流动相的送液停止的规定的时机,将所述脱气流路的下游端连接于所述排液流路,通过所述排液流路排出所述脱气流路内的流动相。
2.如权利要求1所述的脱气装置,其特征在于,还具备:
大气释放流路,其上游端向大气释放;
上游侧切换部,构成为将所述脱气流路的上游端切换连接至所述入口流路或所述大气释放流路中的任一个,
所述控制部构成为,控制所述下游侧切换部与所述上游侧切换部的动作,在将所述脱气流路的下游端连接于所述出口流路时,将所述脱气流路的上游端连接于所述入口流路,在将所述脱气流路的下游端连接于所述排液流路时,将所述脱气流路的上游端连接于所述大气释放流路。
3.如权利要求1所述的脱气装置,其特征在于,还具备:
清洗液供给流路,用于向所述脱气流路供给清洗液;
上游侧切换部,构成为将所述脱气流路的所述上游端切换连接至所述入口流路或所述清洗液供给流路中的任一个,
所述控制部构成为,控制所述下游侧切换部与所述上游侧切换部的动作,在将所述脱气流路的下游端连接于所述出口流路时,将所述脱气流路的上游端连接于所述入口流路,在将所述脱气流路的下游端连接于所述排液流路时,将所述脱气流路的上游端连接于所述清洗液供给流路。
4.如权利要求1~3的任一项所述的脱气装置,其特征在于,
所述控制部构成为,还控制真空泵的动作,在所述脱气流路内的流动相通过所述排液流路排出后,使所述真空泵以规定时间动作。
5.如权利要求1~4的任一项所述的脱气装置,其特征在于,
所述控制部构成为,还控制所述真空泵的动作,在由所述送液泵进行的流动相的送液停止时,使所述真空泵的动作也停止。
6.如权利要求5所述的脱气装置,其特征在于,
还具备流量传感器,检测流过所述出口流路的流动相的流量,
所述控制部构成为,在由所述流量传感器检测的流动相的流量为零时,使所述真空泵的动作停止。
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