[发明专利]非破坏检查方法

说明书

本发明在使用种类不同的多个非破坏检查单元来检查检查对象时，将在该各非破坏检查单元的检测结果中确定的检查对象上的位置彼此简单并且准确地对齐。在基于多个非破坏检查单元中的一非破坏检查单元的检测结果(图1的A)中的检查对象上决定打标位置而存储于装置，并且在相当于该打标位置的检查对象(1)上固定地形成能够通过其他非破坏检查单元检测的标记(m1、m2、m3)(图1的B)，之后，通过其他非破坏检查单元来检测包含标记的检查对象，以标记即打标位置为基准来将多个非破坏检查单元的检测结果彼此对照。

技术领域

本发明涉及非破坏检查方法。

背景技术

存在希望使用种类不同的多个非破坏检查单元来进行检查对象的检查，例如通过X射线拍摄装置(X射线塔尔伯特拍摄装置等)与磁场分布测定装置检查锂离子电池(以下称为“LIB”)这样的情况。通过X射线拍摄，能够了解LIB内部的构造上的不良情况、异物的有无、地点。另外通过磁场分布测定，能够将LIB内部的电流分布可视化，而能够了解漏电电流的大小、漏电位置。

在实际检查上，不单独地以各自的结果判断，而需要将双方的检测结果组合而多方面地判断。例如，存在即使通过X射线拍摄找到异物，若其不导致漏电，则也认为没有问题的情况。或是在存在漏电的情况下，存在能够通过该部分的X射线拍摄来掌握原因为何等，能够组合双方的检测结果来多方面地判断的情况。

在基于种类不同的多个非破坏检查单元的检测结果来多方面地判断的情况下，即使各自的检测结果单独地存在，也有试料的表里、检测时的朝向等检测时的检查对象的放置位置、每个装置的坐标的偏差(XY比例尺、正交度等)等，无法直接比较。若仅以记号笔来标上记号等，则存在在检测结果中未拍摄、反映记号的情况，若希望将一方的检测结果与另一方的检测结果包含位置关系地比较、研究，则需要预先校正坐标以便在每个装置中呈相同的位置关系，如在检查对象形成标记，在各自的检查时以另外的照相机拍摄标记，而校正坐标、位置关系等。在这种情况下，存在需要校正作业，而追加照相机等而导致装置变得大规模等课题。

另外，在如LIB那样层压包装的情况下，也存在即使在包装的外部标上记号，与内部的电极等的位置关系也偏离这一问题。

在专利文献1中记载的发明中，在一方的检查装置中在检查前先根据作为被检查物的半导体基板的元件形成区域的外形线的相互正交的2边、定向平面等外形的特征来确定检查对象的位置，而在另一方的检查装置中在检查前先根据未图示的对位标记来确定检查对象的位置。

专利文献1：日本专利第2915025号公报

专利文献2：日本特开2017-104202号公报

在专利文献1中记载的发明中，能够对半导体基板，对齐在种类不同的多个非破坏检查单元的各个检测结果中确定的检查对象上的位置彼此。

然而，对像LIB那样层压包装的检查对象而言，外形的特征不稳定，存在在从之前的检查到之后的检查之间外形变化的可能。另外，在专利文献1中记载的发明中，存在任何的检查都在检查前先以照相机拍摄图像等而进行光学上的搜索，检查前需要用于位置确定的工序，并且如上述的那样因追加照相机等而装置变得大规模这一课题。

发明内容

本发明是鉴于以上的以往技术中的问题而完成的，以在使用种类不同的多个非破坏检查单元来检查检查对象时，将在该各非破坏检查单元的检测结果中确定的检查对象上的位置彼此简单并且准确地对齐为课题。

用于解决以上的课题的技术方案1所述的发明是一种非破坏检查方法，其中，在使用种类不同的多个非破坏检查单元来检查检查对象时，

在基于上述多个非破坏检查单元中的一个非破坏检查单元的检测结果中的检查对象上决定打标位置并使装置存储，并且在相当于该打标位置的检查对象上固定地形成能够通过其他非破坏检查单元检测的标记后，

通过上述其他非破坏检查单元来检测包含上述标记的检查对象，