[发明专利]层叠膜的制造方法和电子设备的制造方法

说明书

本发明的课题是提供发光效率高、发光寿命长且能抑制制造成本的包含含有发光性材料的层的层叠膜的制造方法等。本发明是包含含有发光性材料的层的层叠膜10的制造方法，具有：在大气环境下使用含有发光性材料的涂布液A在基材20上形成第1涂膜30的工序A，在该工序A之后在大气环境下使用与涂布液A不同的涂布液B在第1涂膜30上形成第2涂膜40的工序B，在该工序B之后在大气环境下进行干燥的工序C；涂布液B含有最高占据分子轨道(HOMO)的能级为－5.0eV以下的有机化合物、或者由如下元素形成的无机物或金属配合物，所示元素是元素周期表中的第1～3周期且为第1族或第2族的元素、元素周期表中的第3～18族的元素、镧系元素和锕系元素中的任一种元素。

技术领域

本发明涉及层叠膜的制造方法和电子设备的制造方法。更详细而言，本发明涉及发光效率高、发光寿命长且能够抑制制造成本的、包含含有发光性材料的层的层叠膜的制造方法和具备该层叠膜的电子设备的制造方法。

背景技术

近年来，由于要求薄型的电子设备，因此层叠具有规定功能的薄膜的技术的需要不断提高。特别是近年来，层叠有发光层、载流子传输层、载流子注入层等多个薄膜的有机电致发光(以下，也称为“有机EL”)设备的开发开始盛行。

作为层叠薄膜的方法，可举出真空蒸镀法和涂布法等。这些之中，涂布法由于无需真空工艺且容易大面积化，因此在制造工艺上具有很大的优点。因此，利用涂布法形成高功能的层叠膜并应用于有机EL设备的发明的数量不断增加。例如，专利文献1中公开了如下技术：通过将多种涂布液每1种地连续涂布，并在涂布结束后一并干燥，从而提高膜厚的均匀性，且抑制亮度不均。

然而，实际状况是即便使用涂布法来制造有机EL设备，成本仍很高。作为成为高成本的主要原因，可举出以下方面：由于构成有机EL设备的层叠膜不耐受大气，因此在制造层叠膜的过程中，需要非活性气体环境、减压和真空环境等的大型设备。因此，期望不使用这些大型设备而由便宜的在大气环境下的涂布工艺来形成高功能的层叠膜的方法，但目前尚未实现。

在大气环境下使用涂布法而形成发光性薄膜时，成为发光性薄膜的功能降低的最主要因素的工序是使发光性薄膜在大气环境下干燥的工序。认为如果使发光性薄膜在大气环境下干燥，则空气会混入发光性薄膜中，或者生成来自发光性材料的劣化物、氧化物，因而导致发光功能的降低。其结果，使用在大气环境下利用涂布法而形成的发光性薄膜的有机EL设备中，发光效率和发光寿命的降低等成为问题。因此，开始进行与用于防止发光层的功能下降的层叠工艺相关的研究。例如，专利文献2中公开了以下方案：形成具备上层(发光层)和下层的层叠膜时，通过将下层在大气环境下干燥，使包含发光性材料的上层在非活性气体环境下干燥，从而能够抑制上层(发光层)的劣化，形成高功能的层叠膜。

然而，专利文献2所记载的发明中，虽然下层在大气环境下进行干燥，但上层(发光层)在非活性气体环境下进行干燥，因此无法期望制造成本的大幅减少。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007－87619号公报

专利文献2：日本特开2017－4782号公报

发明内容

本发明是鉴于上述问题和情况而进行的，其解决课题在于提供发光效率高、发光寿命长且能够抑制制造成本的、包含含有发光性材料的层的层叠膜的制造方法和具备该层叠膜的电子设备的制造方法。

本发明人等为了解决上述课题，对上述问题的原因等进行了研究，结果发现通过具有如下工序的制造方法，能够形成发光效率高且发光寿命长的发光性薄膜，从而完成了本发明，所述工序为：在大气环境下使用含有发光性材料的涂布液A在基材上形成第1涂膜的工序A，在该工序A之后在大气环境下使用含有规定的有机化合物或由规定的元素形成的无机物或金属配合物的涂布液B在第1涂膜上形成第2涂膜的工序B，以及在该工序B之后在大气环境下进行干燥的工序C。