[发明专利]玻璃基板的切断装置、切断方法和存储介质有效

专利信息
申请号: 201880061130.2 申请日: 2018-09-21
公开(公告)号: CN111108072B 公开(公告)日: 2022-06-17
发明(设计)人: 井村淳史 申请(专利权)人: 三星钻石工业股份有限公司
主分类号: C03B33/09 分类号: C03B33/09;B23K26/08;B23K26/50
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 安然;崔成哲
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 玻璃 切断 装置 方法 存储 介质
【权利要求书】:

1.一种玻璃基板的切断装置,其具有:

光发生装置,其输出切断玻璃基板的切断光;以及

光扫描装置,其是使所述切断光的光点沿形成有初始龟裂的所述玻璃基板的切断方向往复移动,对所述玻璃基板进行加热,使龟裂从所述初始龟裂扩大而在所述玻璃基板上形成切断线的龟裂的装置,随着所述切断线的龟裂的形成,将所述切断光的光点的往复移动的范围缩小到所述玻璃基板上的未形成切断线的龟裂的未切断区域。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板的切断装置,其中,该切断装置还具备透镜装置,该透镜装置调节所述切断光的光点在所述玻璃基板上的尺寸。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板的切断装置,其中,所述透镜装置使所述玻璃基板上的所述切断光的光点的尺寸根据所述未切断区域在所述切断方向上的长度而发生变化。

4.根据权利要求2所述的玻璃基板的切断装置,其中,所述透镜装置随着所述未切断区域在所述切断方向上的长度变短而增大所述切断光的光点的尺寸。

5.根据权利要求3所述的玻璃基板的切断装置,其中,所述透镜装置随着所述未切断区域在所述切断方向上的长度变短而增大所述切断光的光点的尺寸。

6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的玻璃基板的切断装置,其中,该切断装置还具备光校正装置,该光校正装置使所述切断光的光点向与所述切断方向垂直的校正方向移动。

7.一种玻璃基板的切断方法,通过使切断玻璃基板的切断光的光点沿形成有初始龟裂的玻璃基板的切断方向往复移动,对所述玻璃基板进行加热,使龟裂从所述初始龟裂扩大而在所述玻璃基板上形成切断线的龟裂,切断所述玻璃基板,所述玻璃基板的切断方法包括如下步骤:

输出所述切断光;以及

随着所述切断线的龟裂的形成,将所述切断光的光点的往复移动的范围缩小到所述玻璃基板上的未形成切断线的龟裂的未切断区域。

8.一种存储介质,其存储有使计算机执行权利要求7所述的切断方法的程序。

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