[发明专利]带电粒子射线装置、计算机可读记录介质

权利要求书

1.一种带电粒子射线装置，其向样本照射带电粒子射线，其特征在于，具备：

带电粒子源，其射出上述带电粒子射线；

检测器，其检测通过向上述样本照射上述带电粒子射线而产生的带电粒子，输出表示其强度的检测信号；

能量辨别器，其在上述检测器检测上述带电粒子之前，根据上述带电粒子具有的能量辨别上述带电粒子；

存储部，其存储有基准图形，该基准图形描述了表示上述检测器向基准样本照射带电粒子射线而产生的带电粒子的强度的检测信号；以及

运算器，其使用上述检测器输出的上述检测信号和上述基准图形来推定上述样本的截面形状，

上述运算器按上述能量辨别器的分别不同的每个辨别条件，取得上述检测信号，

上述运算器通过对按上述每个辨别条件取得的上述检测信号和上述基准图形进行比较，推定上述样本的截面形状。

2.根据权利要求1所述的带电粒子射线装置，其特征在于，

上述基准图形按上述基准样本的深度方向的每个位置描述了上述基准样本的截面形状的边沿部分的位置，

上述能量辨别器构成为能够依照上述辨别条件选择性地辨别从上述样本的深度方向的特定位置得到的上述带电粒子，

上述运算器通过按不同的每个上述辨别条件取得上述检测信号，而按与上述辨别条件对应的上述样本的深度方向的每个位置，取得上述样本的截面形状的边沿部分的位置，

上述运算器通过按上述样本的深度方向的每个位置比较上述基准样本的截面形状的边沿部分的位置和上述样本的截面形状的边沿部分的位置，推定上述样本的截面形状。

3.根据权利要求1所述的带电粒子射线装置，其特征在于，

上述运算器按上述样本的深度方向的每个位置，取得上述带电粒子射线的偏转量由于改变上述带电粒子射线的加速电压而变化的变化量，作为上述基准图形，

上述运算器针对上述带电粒子射线的分别不同的加速电压，按上述样本的深度方向的每个位置，取得上述样本的截面形状的边沿部分的位置，

上述运算器按上述样本的深度方向的每个位置，对上述基准图形描述的上述变化量和按上述不同的每个加速电压取得的上述样本的截面形状的边沿部分的位置进行比较，由此推定上述样本的截面形状。

4.根据权利要求1所述的带电粒子射线装置，其特征在于，

上述基准图形描述了使内部不具有空洞的上述基准样本带电时的上述基准样本的表面的电位分布，

上述能量辨别器构成为能够依照上述辨别条件选择性地辨别在上述样本的表面上从具有特定电位的位置产生的上述带电粒子，

上述运算器通过对上述基准图形描述的电位分布和上述每个辨别条件的上述检测信号进行比较，推定存在于上述样本的内部的空洞在上述样本的表面上的位置。

5.根据权利要求4所述的带电粒子射线装置，其特征在于，

上述存储部存储有空洞大小数据，该空洞大小数据按上述空洞在深度方向上的每个大小，描述将上述空洞投影到上述样本的表面的位置处的电位与上述样本的表面上的投影的上述位置以外的位置处的电位之间的差值，

上述运算器通过对上述空洞大小数据描述的上述差值和上述每个辨别条件的上述检测信号进行比较，推定存在于上述样本的内部的空洞的深度方向的大小。

6.根据权利要求1所述的带电粒子射线装置，其特征在于，

上述带电粒子源通过向上述样本照射上述带电粒子射线，使得在上述样本的深度方向上产生电位差，

上述基准图形描述了上述带电粒子射线由于上述基准样本的表面和底之间的电位差而偏转的偏转量，

上述运算器通过对上述带电粒子射线偏转的偏转量和上述基准图形描述的偏转量进行比较，推定上述样本的截面形状。

7.根据权利要求4所述的带电粒子射线装置，其特征在于，

上述样本具有孔，

上述带电粒子射线装置还具备：偏转器，其使上述带电粒子射线偏转，

上述偏转器使上述带电粒子射线偏转，使上述带电粒子射线向上述样本入射的入射角倾斜，由此向上述孔的底部照射上述带电粒子射线。