[发明专利]拖曳泵和包括拖曳泵的真空泵组

权利要求书

1.一种用于泵送气体的拖曳泵，所述拖曳泵包括：

转子，所述转子构造成在定子部件内旋转并且将待泵送气体从气体入口驱动至气体出口；

磁轴承，所述磁轴承用于利用磁悬浮将所述转子可旋转地安装在所述泵内；

其中，至少所述转子和定子部件的构造成接触所述待泵送气体的那部分构造成在高于130 ℃的温度下操作，并且所述转子至少部分地由钢制成。

2. 根据权利要求1所述的拖曳泵，其中，所述转子和定子部件的构造成接触所述待泵送气体的所述部分构造成在高于150 ℃的温度下操作。

3.根据权利要求1或2所述的拖曳泵，其中，所述转子至少部分地由沉淀硬化不锈钢制成。

4. 根据任一前述权利要求所述的拖曳泵，其中，所述拖曳泵包括加热器，所述加热器构造成加热所述拖曳泵，使得构造成接触所述待泵送气体的所述转子和定子部件在操作期间被维持在高于130 ℃的温度。

5.根据任一前述权利要求所述的拖曳泵，所述拖曳泵还包括至少一个热绝缘构件，所述至少一个热绝缘构件构造成将所述转子和定子部件与包括所述拖曳泵的所述马达的区域热隔离。

6.根据权利要求5所述的拖曳泵，其中，所述至少一个热绝缘构件包括在所述定子部件和所述泵的基部之间的热绝缘构件以及在驱动轴和所述转子之间的热绝缘构件，所述转子安装在所述驱动轴上。

7.根据任一前述权利要求所述的拖曳泵，其中，所述拖曳泵包括至少一个拖曳级和至少一个再生级。

8.根据权利要求7所述的拖曳泵，其中，所述再生级的转子至少部分地由钢形成。

9.根据权利要求7或8所述的拖曳泵，其中，所述至少一个拖曳级包括霍尔维克泵级和西格巴恩泵级中的至少一者。

10.根据权利要求7至9中任一项所述的拖曳泵，其中，所述至少一个再生级和所述至少一个拖曳级安装在同一驱动轴上。

11.根据权利要求7至10中任一项所述的拖曳泵，包括串联布置的至少两个拖曳级。

12.根据任一前述权利要求所述的拖曳泵，其中，所述拖曳泵包括并联布置的至少两个拖曳级，每个拖曳级可操作以从相应的气体输入部接收气体。

13.根据任一前述权利要求所述的拖曳泵，包括邻近所述输入部的转子叶片，所述转子叶片包括涡轮分子泵级，其具有成角度的叶片以将气体推送到所述泵中。

14. 根据任一前述权利要求所述的拖曳泵，其中，所述拖曳泵构造成在入口处的0.1-0.5 mbar和出口处的0.5-3 mbar之间操作。

15. 根据任一前述权利要求所述的拖曳泵，其中，所述拖曳泵包括入口，所述入口构造成连接到直径在80 mm和160 mm之间的管道。

16. 根据任一前述权利要求所述的拖曳泵，其中，所述拖曳泵包括排放出口，所述排放出口构造成连接到直径在30 mm至60 mm之间的管道。

17.根据任一前述权利要求所述的拖曳泵，其中，所述拖曳泵构造成作为用于至少一个高真空涡轮分子泵的辅助泵来操作。

18.根据权利要求17所述的拖曳泵，其中，所述拖曳泵构造成作为用于两个或更多个高真空涡轮分子泵的辅助泵来操作。