[发明专利]已涂布对象物的制造方法及涂布物质延伸装置

说明书

本发明的目的在于提供在具有曲面的涂布对象面尽可能将涂布物质均匀地涂布的已涂布对象物的制造方法及涂布物质延伸装置。本发明为制造在对象物(T)中具有曲面的涂布对象面(Tf)涂布有涂布物质的已涂布对象物的已涂布对象物的制造方法，具备下述步骤：对涂布对象面(Tf)供给涂布物质的供给步骤；及令对涂布对象面(Tf)供给有涂布物质的对象物(T)绕着与对象物(T)隔有距离的公转轴线(13a)的公转步骤。涂布物质延伸装置(1)具备令对象物(T)绕着与对象物(T)隔有距离的公转轴线(13a)旋转的公转部(10)。通过如上述的构成，能够使作用在涂布对象面(Tf)各部分的带动涂布物质的力接近于与离公转轴线(13a)的距离成比例的大小，从而能够抑制涂布在涂布对象面(Tf)的涂布物质的厚度的变异。

技术领域

本发明有关已涂布对象物的制造方法及涂布物质延伸装置，具体而言为有关在具有曲面的涂布对象面尽可能将涂布物质均匀地涂布的已涂布对象物的制造方法及涂布物质延伸装置。

背景技术

就在光盘等的基板上形成均匀厚度的树脂膜的技术而言，有旋转涂布(spincoat)法。旋转涂布法，将作为树脂膜的原料的树脂液供给至基板表面中央，令基板绕着通过基板表面中心且垂直于表面的旋转轴线旋转，据此使树脂液延伸到整个表面来形成树脂膜(参照例如下述的专利文献1)。

[现有技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本国特开2009-15923号公报。

发明内容

(发明所欲解决的课题)

在上述的旋转涂布法中，当涂布树脂的表面为平坦的表面时，能够形成大致均匀厚度的树脂膜。然而，当涂布的树脂表面并非平坦而是球面状等曲面时，就难以形成均匀厚度的树脂膜。

本发明鉴于上述课题，目的在于提供能够在具有曲面的涂布对象面尽可能将涂布物质均匀地涂布的一种已涂布对象物的制造方法及涂布物质延伸装置。

(解决课题的手段)

为了达成前述目的，本发明的第一态样的已涂布对象物的制造方法，例如参照图1及图3所示，制造在要涂布涂布物质R(参照例如图2)的对象物T中具有曲面的涂布对象面Tf涂布有涂布物质R的已涂布对象物的方法，其具备下述步骤：对涂布对象面Tf供给涂布物质R的供给步骤(S2)；及令对涂布对象面Tf供给有涂布物质R的对象物T绕着与对象物T隔有距离的公转轴线13a旋转的公转步骤(S8)。

当如上述构成，能够使作用在涂布对象面各部分的带动涂布物质的力接近于与离公转轴线的距离成比例的大小，从而能够抑制涂布在涂布对象面的涂布物质的厚度的变异。

此外，本发明的第二态样的已涂布对象物的制造方法为，例如参照图2及图3所示，在上述本发明的第一态样的已涂布对象物的制造方法中，供给步骤(S3)为以使涂布物质R接触涂布对象面Tf的一部分的方式构成；且具备有：在公转步骤(S8)之前，令对象物T旋转，而使涂布物质R与涂布对象面Tf接触的范围扩大的初步延伸步骤(S3)。

当如上述构成，因涂布对象面具有曲面而在公转步骤中，即使涂布物质与涂布对象面接触的范围难以扩大时，仍能够通过初步延伸步骤使涂布物质接触涂布对象面的范围扩大。

此外，本发明的第三态样的已涂布对象物的制造方法为，例如参照图2及图3所示，在上述本发明的第二态样的已涂布对象物的制造方法中，初步延伸步骤(S3)构成为，含有超过量脱离步骤(S4)，该已涂布对象物的制造方法为令在供给步骤(S2)中供给至涂布对象面Tf的涂布物质R中，超过预设量的量的涂布物质R从涂布对象面Tf脱离；且具备有：在公转步骤(S8)之前，回收在超过量脱离步骤(S4)中从对象物T脱离的涂布物质R的回收步骤(S5)。

当如上述构成，通过在公转步骤之前令超过量的涂布物质从涂布对象面脱离，能够抑制在公转步骤中产生多余的涂布物质，并且回收脱离的涂布物质有效利用。