[发明专利]着色感光性组成物及滤光器的制造方法在审
申请号: | 201880062032.0 | 申请日: | 2018-09-21 |
公开(公告)号: | CN111133381A | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 大河原昂广;奈良裕树 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;C08F2/44;C08F2/46;G03F7/027;G03F7/029;G03F7/031;G03F7/20;G02B5/20 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 蒋亭 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 着色 感光性 组成 滤光 制造 方法 | ||
本发明提供一种能够形成与支承体的密合性优异且矩形性良好的像素的着色感光性组合物。并且,提供一种具有与支承体的密合性优异且矩形性良好的像素的滤光器的制造方法。该着色感光性组合物为包含色料及固化性化合物且在波长300nm以下的光下用于曝光的着色感光性组合物。使用该着色感光性组合物制膜出干燥后的膜厚为0.5μm的膜时,所述膜对于波长248nm的光的光密度为1.6以上。着色感光性组合物的总固体成分中的色料的含量优选50质量%以上。
技术领域
本发明涉及一种着色感光性组合物。更具体而言,涉及一种通过波长300n m以下的光进行曝光而使用的着色感光性组合物。并且,本发明涉及一种使用了着色感光性组合物的滤光器的制造方法。
背景技术
在视频摄影机、数码相机、带有摄像功能的移动电话等中使用CCD(电荷耦合元件)或CMOS(互补金属氧化物半导体)等固体摄像元件。并且,对固体摄像元件正在使用具有利用着色感光性组合物来形成的像素的滤光器。作为着色感光性组合物,正在使用包含色料及固化性化合物的组合物(参考专利文献1、2)。
以往技术文献
专利文献
专利文献1:日本特表2012-532334号公报
专利文献2:日本特开2010-097172号公报
发明内容
发明要解决的技术课题
近年来,关于使用着色感光性组合物来形成的像素,期望更进一步提高矩形性或与支承体的密合性。
从而,本发明的目的在于提供一种能够形成与支承体的密合性优异且矩形性良好的像素的着色感光性组合物。并且,本发明提供一种具有与支承体的密合性优异且矩形性良好的像素的滤光器的制造方法。
用于解决技术课题的手段
本发明人进行深入研究的结果,发现如下而完成了本发明,即,对对于波长248nm的光的光密度高的着色感光性组合物的层或包含多的色料的着色感光性组合物的层照射波长300nm以下的光来形成像素时,令人惊讶的是,能够形成矩形性良好且与支承体的密合性优异的像素。从而,本发明提供以下。
<1>一种着色感光性组合物,其包含色料及固化性化合物且在波长300nm以下的光下用于曝光的着色感光性组合物,所述着色感光性组合物中,
使用着色感光性组合物制膜出干燥后的膜厚为0.5μm的膜时,膜对于波长248nm的光的光密度为1.6以上。
<2>根据<1>所述的着色感光性组合物,其中,
着色感光性组合物的总固体成分中的色料的含量为50质量%以上。
<3>一种着色感光性组合物,其包含色料及固化性化合物且在波长300nm以下的光下用于曝光的着色感光性组合物,所述着色感光性组合物中,
着色感光性组合物的总固体成分中的色料的含量为50质量%以上。
<4>根据<1>至<3>中的任一项所述的着色感光性组合物,其为KrF射线曝光用着色感光性组合物。
<5>根据<1>至<4>中的任一项所述的着色感光性组合物,其中,
固化性化合物包含聚合性单体,聚合性单体的聚合性基团值为10.5mmol/g以上。
<6>根据<5>所述的着色感光性组合物,其还包含光聚合引发剂。
<7>根据<6>所述的着色感光性组合物,其中,
光聚合引发剂为选自烷基苯酮化合物、酰基膦化合物、二苯甲酮化合物、噻吨酮化合物、三嗪化合物、频哪醇化合物及肟化合物中的至少一种化合物。
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