[发明专利]涡流流量计

说明书

在包括涡流产生体(16)与流量测量部(30)的涡流流量计(1)，流量测量部(30)具有压电组件(32)与压电组件壳(31)，其中，压电组件壳(31)具有：嵌合部(312)，与本体壳(2)嵌合；受压部(314)，从嵌合部(312)的前端面(312a)突出，并被配置于本体流路(23)内；空间部(319)，在嵌合部(312)沿着压电组件壳(31)的轴线方向所形成，并将嵌合部(312)与受压部(314)之间隔离；以及狭缝(318)，在受压部(314)的内部所形成，并用于容纳压电组件(32)。

技术领域

本发明有关于一种涡流流量计，其包括：具备本体流路的本体壳；被配置于本体流路的涡流产生体；以及被配设于涡流产生体的下游侧的流量测量部，并且所述流量测量部借由检测出通过涡流产生体所产生的涡流，测量流量。

背景技术

真空室、淬火装置、雷射加工机、急冷器等的热源借冷却水所冷却。在这些装置，在冷却水的循环回路配设流量传感器与控制阀，借由将冷却水的流量控制成设定流量，进行热源的温度管理。在流量传感器，例如使用便宜的涡流流量计。

例如，在专利文献1及专利文献2，揭示一种涡流流量计，该涡流流量计在形成于本体壳的本体流路，配置涡流产生体与流量测量部。本体壳以与本体流路连通的方式形成被插入流量测量部的插入孔。流量测量部包括：嵌合部，与本体壳的插入孔嵌合；受压部，在嵌合部的前端面所突设，并向本体流路侧突出；以及压电组件，被配置于受压部的内部。该涡流流量计涡流产生体所产生的卡门涡流的交变应力作用于受压部，而受压部振动(弯曲变形)时，压电组件传达该振动(变形)，并输出电压信号。

[现有专利文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利第3456822号公报

[专利文献2]日本专利第3968769号公报

发明内容

[发明所欲解决的问题]

可是，以往的涡流流量计因为受压部在嵌合部的前端面所突设而短，在被测量流体以低流量在本体流路流动的情况，即使卡门涡流的交变应力作用于受压部，受压部也不会振动，而发生压电组件无法输出电压信号的事。若受压部从嵌合部的前端面突出的长度变长，受压部承受卡门涡流而易振动(变形)，压电组件的灵敏度提高。可是，这样的话，流量测量部的轴线方向的长度变长，而涡流流量计尺寸大形化。

本发明为了解决上述的问题点所开发者，其目的在于提供一种涡流流量计，该涡流流量计可以抑制尺寸的大形化，同时提高流量测量精度。

[解决问题的手段]

本发明之一实施方式具有如以下所示的构成。(1)一种涡流流量计，包括：具备本体流路的本体壳；被配置于所述本体流路的涡流产生体；以及被配设于所述涡流产生体的下游侧的流量测量部，并且所述流量测量部借由检测出通过该涡流产生体所产生的卡门涡流，测量流量；其特征具有：该流量测量部具有压电组件与压电组件壳；所述压电组件壳具有：嵌合部，与所述本体壳嵌合；受压部，从所述嵌合部的位于本体流路侧的前端面突出，并被配置于本体流路内；空间部，在所述嵌合部沿着所述压电组件壳的轴线方向所形成，并将所述嵌合部与所述受压部之间隔离；以及狭缝，在所述受压部的内部所形成，并用于容纳所述压电组件。

该构成的涡流流量计在不改变受压部从嵌合部的前端面突出的长度下，可通过空间部使受压部的长度变长。因此，即使在被测量流体是低流量，而卡门涡流的交变应力小的情况，受压部承受借涡流产生体所产生的卡门涡流而易振动(弯曲变形)，压电组件可检测出卡门涡流。依此方式，若依据该构成的涡流流量计，只是在压电组件壳设置空间部，因为压电组件的灵敏度提高，所以可抑制尺寸的大形化，同时提高流量测量精度。

(2)在(1)所记载的构成，优选所述本体壳形成被插入所述流量测量部的插入孔；具有对所述本体壳与所述流量测量部之间进行密封的密封构件；所述空间部被设置于配置所述密封构件的位置的径向内侧。