[发明专利]带电极基板的制造方法

说明书

提供不易被辨识，即使使用薄膜透明基板位置精度也优异，可以抑制透射率差、莫列波纹的成品率高的带电极基板的制造方法。一种带电极基板的制造方法，是在厚度为200μm以下的第一透明基板上具有第一电极、绝缘层和第二电极的带电极基板的制造方法，其具有下述工序：在上述第一透明基板的至少一面形成第一电极的工序；在上述透明基板的形成有第一电极的面形成绝缘层的工序；以及在上述绝缘层上形成第二电极的工序，第一电极和/或第二电极不透明。

技术领域

本发明涉及具有透明基板、第一电极、绝缘层和第二电极的带电极基板的制造方法。

背景技术

近年来，作为输入手段，广泛使用了触摸面板。触摸面板由液晶面板等显示部和检测输入到特定位置的信息的触摸面板传感器等构成。触摸面板的方式根据输入位置的检测方法，大致区分为电阻膜方式、静电容量方式、光学方式、电磁感应方式、超声波方式等。其中，由于光学上明亮、设计性优异、结构简易和功能性优异等理由，广泛使用静电容量方式的触摸面板。

静电容量方式的触摸面板传感器介由第一电极和绝缘层而具有垂直的第二电极，向触摸面板面的电极施加电压，将通过检测手指等导电体接触时的静电容量变化从而获得的接触位置作为信号输出。作为静电容量方式所使用的触摸面板传感器，已知例如，将在透明基板的1个面形成了透明电极的图案的透明基板2片贴合了的结构、在一片透明基板的两面形成了电极的结构等。作为触摸面板传感器所使用的配线电极，从不易看到配线电极的观点考虑，一般使用透明配线电极，但近年来，由于高灵敏度化、画面的大型化，使用了金属材料的不透明配线电极扩大。

作为使用了金属材料的不透明配线电极的形成方法，提出了例如，涂布包含导电性粉末的感光性导电膏，通过光刻进行图案形成，接着进行烧成的方法(例如，参照专利文献1)。然而，在将形成了不透明配线电极的透明基板贴合2层以上或与其它基材贴合的情况下，具有因为贴合装置的机械精度、贴合用粘着构件的挠性而易于发生位置偏移的课题。特别是，在将形成了不透明配线电极的透明基板贴合2层以上的情况下，如果发生位置偏移，则发生由不透明配线电极彼此的干扰引起的莫列波纹(moiré)不良。透明基板越薄则这样的课题越显著。

与此相对，作为容易对准位置的透明导电性叠层体的制造方法，提出了例如，在透明基板层的两面至少形成第一透明导电层和第二透明导电层，在第一透明导电层和第二透明导电层的表面涂布抗蚀剂同时曝光，将抗蚀剂显影而对第一透明导电层和第二透明导电层进行蚀刻的方法(例如，参照专利文献2)。然而，在这样的方法中，为了避免通过同时曝光从而所希望的抗蚀剂以外感光，需要使透明基板层吸收曝光光，由于能够使用的材料有限，因此期望其它方法。此外，提出了包含下述工序的方法：在第一透明基板的一个面形成第一透明电极图案的工序；在第二透明基板的一个面至少形成透明导电层的工序；使第一透明基板的未形成透明电极图案的面、与第二透明基板的未形成透明导电层的面彼此对置而用粘着层贴合的工序；使用第一透明电极图案来调整上述透明导电层的图案形成的曝光位置的工序；以及通过图案形成而在上述透明导电层形成第二透明电极图案的工序(例如，参照专利文献3)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-199954号公报

专利文献2：日本专利第4683164号公报

专利文献3：日本特开2014-71802号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，在专利文献3所记载的方法中，具有露出的第一透明电极图案在第二透明导电图案形成时易于发生缺损、断线，成品率低的课题。本发明是鉴于上述情况而提出的，其目的是提供不易被辨识，即使使用薄膜透明基板位置精度也优异，可以抑制莫列波纹的成品率高的带电极基板的制造方法。

用于解决课题的方法

为了解决上述课题，本发明主要具有以下构成。