[发明专利]光学装置的安装结构以及曝光装置

权利要求书

1.一种光学装置的安装结构，其特征在于，

所述光学装置的安装结构具备：

光学装置，其具有筒状部；

框体，其用于组装所述光学装置；

大致薄板状的引导构件，其在所述光学装置的组装时设置于所述光学装置与所述框体之间；以及

驱动部，其设置于所述框体，并使所述光学装置在铅垂方向上移动，

在所述框体形成有在大致铅垂方向上贯通的圆孔，

所述引导构件为俯视呈大致圆板形状，并以覆盖所述圆孔的方式设置于所述框体，

在所述引导构件的大致中央形成有安装孔，

所述安装孔配置为与所述圆孔大致同心的圆状，

所述筒状部以光轴与所述安装孔的中心大致一致的方式插入所述安装孔而固定于所述引导构件。

2.根据权利要求1所述的光学装置的安装结构，其特征在于，

所述框体具有：底板，其大致水平地设置；以及支承板，其大致水平地设置并且设置于所述底板的上侧，

在所述底板以及所述支承板分别形成有所述圆孔即第一圆孔以及第二圆孔，

在俯视下，所述第一圆孔的中心与所述第二圆孔的中心大致一致，

在将所述光学装置组装于所述框体时，所述光学装置的重心位于所述驱动部将所述光学装置顶起的位置的附近。

3.根据权利要求1或2所述的光学装置的安装结构，其中，

所述框体具有：支承部，其大致水平地设置；柱，其分别设置于所述支承部的两端；以及移动机构，其使所述支承部在铅垂方向上移动，

在所述支承部形成有支承部侧滑动面，

在所述柱以与所述支承部侧滑动面对置的方式形成有柱侧滑动面，

所述支承部由磁性材料形成，

在所述柱设置有具有永久磁铁和电磁铁的永久电磁铁，

在所述移动机构不使所述支承部移动时，通过在所述电磁铁的线圈中流过电流而使所述永久电磁铁吸附所述支承部，从而所述支承部侧滑动面与所述柱侧滑动面紧贴。

4.根据权利要求3所述的光学装置的安装结构，其特征在于，

所述移动机构具有：齿条，其沿着上下方向设置于所述支承部的与长度方向大致正交的端面；以及小齿轮，其能够旋转地设置于所述柱，

所述齿条的齿位于穿过所述支承部的重心、并且与上下方向大致平行的线上。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的光学装置的安装结构，其特征在于，

所述引导构件由厚度为大致0.1mm的金属形成。

6.根据权利要求5所述的光学装置的安装结构，其特征在于，

在所述引导构件沿着周向形成有多个环状扇形状的切口孔。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的光学装置的安装结构，其特征在于，

所述引导构件由厚度为大致1mm的金属形成，

在所述引导构件分别形成有多个大致圆弧形状的第一切口孔以及第二切口孔，

所述第二切口孔配置于所述第一切口孔的外侧，

所述第一切口孔的包含端部在内的端部区域与所述第二切口孔的包含端部在内的端部区域的周向的位置大致一致。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的光学装置的安装结构，其特征在于，

所述引导构件具有大致沿着所述引导构件的外周的大致环状的第一厚壁部、以及大致沿着所述安装孔的大致环状的第二厚壁部，

所述引导构件与所述框体经由所述第一厚壁部而固定，

所述引导构件与所述筒状部经由所述第二厚壁部而固定。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的光学装置的安装结构，其特征在于，

所述光学装置具有AF处理部，所述AF处理部具有：AF用光源，其照射向下的光；以及AF传感器，其供反射光射入，

在所述引导构件上，在穿过所述安装孔的中心的线上以隔着所述安装孔的方式形成有两个孔，

所述两个孔在俯视下与所述AF用光源以及所述AF传感器的位置重叠。