[发明专利]弹性波装置

说明书

在抑制频率特性的下降的同时进一步提高耐电力性。第1IDT电极(7A)以及第2IDT电极(7B)通过相互共有的公共汇流条(70)而相互串联连接。关于第1声阻抗层(4A)以及第2声阻抗层(4B)各自，至少一个高声阻抗层(41)以及至少一个低声阻抗层的至少一个为导电层。第1声阻抗层(4A)中的导电层的至少一部分和第2声阻抗层(4B)中的导电层的至少一部分在从压电体层(5)的厚度方向的俯视下不与公共汇流条(70)重复。第1声阻抗层(4A)中的导电层和第2声阻抗层(4B)中的导电层被电绝缘。

技术领域

本发明普遍涉及弹性波装置，更详细地，涉及具备压电体层的弹性波装置。

背景技术

以往，作为弹性波装置，已知有使用了板波的弹性波装置(例如，参照专利文献1)。

在专利文献1记载的弹性波装置具备：支承基板、声反射层(声阻抗层)、压电体层、和IDT(Interdigital Transducer，叉指换能器)电极。

在专利文献1记载的弹性波装置的声反射层具有：低声阻抗层、和声阻抗比低声阻抗层高的高声阻抗层。

在专利文献1记载了如下的主旨，即，为了在声反射层中使弹性波高效地反射，希望高声阻抗层的声阻抗与低声阻抗层的声阻抗之比即声阻抗比大。此外，在专利文献1，作为声阻抗比最大的材料的组合，公开了W(钨)和SiO₂(氧化硅)的组合。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2012/086441号

发明内容

发明要解决的课题

在具备IDT电极的弹性波装置的领域中，希望在维持良好的频率特性的同时进一步提高耐电力性。

本发明的目的在于，提供一种能够在抑制频率特性的下降的同时进一步提高耐电力性的弹性波装置。

用于解决课题的手段

本发明的一个方式涉及的弹性波装置具备：基板、第1声阻抗层以及第2声阻抗层、压电体层、第1IDT电极、和第2IDT电极。所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层形成在所述基板上。所述压电体层形成在所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层上。所述第1IDT电极形成在所述压电体层上，在从所述压电体层的厚度方向的俯视下，一部分与所述第1声阻抗层重复。所述第2IDT电极形成在所述压电体层上，在从所述厚度方向的俯视下，一部分与所述第2声阻抗层重复。所述第1IDT电极以及所述第2IDT电极通过相互共有的公共汇流条而相互串联连接。所述第1IDT电极包含：相互对置的第1汇流条以及所述公共汇流条、与所述第1汇流条连接且朝向所述公共汇流条延伸的多个电极指、和与所述公共汇流条连接且朝向所述第1汇流条延伸的多个电极指。所述第2IDT电极包含：相互对置的所述公共汇流条以及第2汇流条、与所述公共汇流条连接且朝向所述第2汇流条延伸的多个电极指、和与所述第2汇流条连接且朝向所述公共汇流条延伸的多个电极指。所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层各自具有：至少一个高声阻抗层、和声阻抗比所述至少一个高声阻抗层低的至少一个低声阻抗层。关于所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层各自，所述至少一个高声阻抗层以及所述至少一个低声阻抗层的至少一个为导电层。所述第1声阻抗层中的所述导电层的至少一部分和所述第2声阻抗层中的所述导电层的至少一部分在从所述厚度方向的俯视下不与所述公共汇流条重复。所述第1声阻抗层中的所述导电层和所述第2声阻抗层中的所述导电层被电绝缘。

发明效果

在本发明的一个方式涉及的弹性波装置中，能够在抑制频率特性的下降的同时进一步提高耐电力性。

附图说明

图1是本发明的一实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。

图2涉及同上的弹性波装置，是图1的A-A线剖视图。