[发明专利]用于光谱椭圆偏光仪或反射计的透镜设计

权利要求书

1.一种透镜系统，其包括：

主镜，其是弯曲的；

非球面副镜，其具有小于所述主镜的直径的直径，其中所述非球面副镜与所述主镜共享光轴，且其中所述非球面副镜及所述主镜相对于所述光轴旋转地对称；及

支撑构件，其经安置于所述非球面副镜上，其中所述支撑构件在所述透镜系统的操作波长内是透明的。

2.根据权利要求1所述的透镜系统，其中所述支撑构件是玻璃。

3.根据权利要求1所述的透镜系统，其中所述支撑构件是二氧化硅。

4.根据权利要求1所述的透镜系统，其中所述支撑构件是CaF₂。

5.根据权利要求1所述的透镜系统，其进一步包括外壳，其中所述主镜及所述非球面副镜经安置于所述外壳中，且其中所述支撑构件将所述非球面副镜连接到所述外壳。

6.根据权利要求1所述的透镜系统，其中所述非球面副镜的所述直径是所述主镜的直径的2.5％到20％。

7.根据权利要求1所述的透镜系统，其中所述支撑构件具有非零凸曲率半径及非零凹曲率半径。

8.根据权利要求1所述的透镜系统，其中所述非球面副镜经配置以阻挡通过所述透镜系统的10％或更少的光。

9.根据权利要求1所述的透镜系统，其中所述支撑构件的曲率半径是所述支撑构件的半径的0.67倍到1.5倍。

10.一种椭圆偏光仪，其包含根据权利要求1所述的透镜系统。

11.一种反射计，其包含根据权利要求1所述的透镜系统。

12.一种方法，其包括：

导引光束通过在所述光束的操作波长内透明的支撑构件；

从主镜反射所述光束；及

从非球面副镜反射所述光束，所述非球面副镜具有小于所述主镜的直径的直径，其中所述非球面副镜经安置于所述支撑构件上，其中所述非球面副镜与所述主镜共享光轴，且其中所述非球面副镜及所述主镜相对于所述光轴旋转地对称。

13.根据权利要求12所述的方法，其中所述非球面副镜经配置以阻挡被导引通过所述支撑元件的10％或更少的光束。

14.根据权利要求12所述的方法，其中所述光束以法向入射±2°入射于所述支撑构件上。

15.根据权利要求12所述的方法，其中所述支撑构件是玻璃。

16.根据权利要求12所述的方法，其中所述支撑构件是二氧化硅。

17.根据权利要求12所述的方法，其中所述支撑构件是CaF₂。

18.根据权利要求12所述的方法，其中所述光束用于在半导体晶片上执行计量。

19.根据权利要求18所述的方法，其中所述光束用于执行椭圆偏光测量术。

20.根据权利要求18所述的方法，其中所述光束用于执行反射测量术。