[发明专利]光调制器

权利要求书

1.一种光调制器，其中，

具备：

基板；

波导层，其由在所述基板上脊状地形成的电光材料膜构成，且包含互相相邻的第一光波导和第二光波导；

RF部，其对所述第一光波导和所述第二光波导施加调制信号；以及

DC部，其对所述第一光波导和所述第二光波导施加DC偏置，

所述DC部包含：

缓冲层，其至少覆盖所述第一光波导和所述第二光波导的上表面；

第一偏置电极，其经由所述缓冲层而与所述第一光波导相对；以及

第二偏置电极，其邻接于所述第一偏置电极而设置，

对所述第一偏置电极和所述第二偏置电极之间施加第一DC偏压，

至少在所述第一偏置电极和所述第二偏置电极之间的第一电极分离区域的下方，设置有所述波导层的至少一部分被去除了的波导层去除区域，

所述RF部包含：

第一信号电极和第二信号电极，其经由所述缓冲层而与所述第一光波导和所述第二光波导分别相对；

第一接地电极，其邻接于所述第一信号电极而设置；以及

第二接地电极，其邻接于所述第二信号电极而设置，

在所述RF部未设置有所述波导层去除区域，

与所述第一光波导和所述第二光波导的延伸方向正交的所述波导层的截面形状在所述DC部和所述RF部中不同。

2.根据权利要求1所述的光调制器，其中，

所述DC部还包含：

第三偏置电极，其经由所述缓冲层而与所述第二光波导相对；以及

第四偏置电极，其邻接于所述第三偏置电极而设置，

对所述第三偏置电极和所述第四偏置电极之间施加第二DC偏压，

在所述第三偏置电极和所述第四偏置电极之间的第二电极分离区域的下方，设置有所述波导层去除区域。

3.根据权利要求2所述的光调制器，其中，

从所述第一偏置电极观察，所述第二偏置电极位于所述第三偏置电极的相反侧，

从所述第三偏置电极观察，所述第四偏置电极位于所述第一偏置电极的相反侧。

4.根据权利要求3所述的光调制器，其中，

所述DC部还包含：设置于所述第一偏置电极和所述第三偏置电极之间的第五偏置电极，

在所述第一偏置电极和所述第五偏置电极之间的第三电极分离区域的下方以及所述第三偏置电极和所述第五偏置电极之间的第四电极分离区域的下方，设置有所述波导层去除区域，

所述RF部还包含：第三接地电极，其设置于所述第一信号电极和所述第二信号电极之间。

5.根据权利要求1所述的光调制器，其中，

所述第二偏置电极经由所述缓冲层而与所述第二光波导相对。

6.根据权利要求1~5中任一项所述的光调制器，其中，

所述波导层去除区域是所述波导层与所述缓冲层一同被去除而露出所述基板的区域。

7.根据权利要求6所述的光调制器，其中，

所述波导层去除区域是所述基板的一部分被进一步去除了的区域。

8.根据权利要求1~5中任一项所述的光调制器，其中，

所述波导层去除区域是所述波导层的一部分与所述缓冲层一同被去除，所述基板被所述波导层的剩余部分覆盖的区域。

9.根据权利要求6所述的光调制器，其中，

所述DC部进一步包含以覆盖所述第一光波导和所述第二光波导的两侧的侧面的方式形成于所述波导层和所述缓冲层之间的保护层，

所述波导层去除区域是所述波导层与所述缓冲层和所述保护层一同被去除了的区域。