[发明专利]用于质量流量控制器的被动阻尼系统

权利要求书

1.一种质量流量控制器，包括：

入口，所述入口接收流体；

流体通道，所述流体在所述流体通道中通过所述质量流量控制器；

质量流量传感器，所述质量流量传感器提供信号，所述信号与流过所述流体通道的所述流体的质量流量相对应；

控制阀，所述控制阀调节从所述质量流量控制器的出口流出的所述流体的流量；以及

被动阻尼系统，所述被动阻尼系统消散由所述控制阀引入的流体流致振动；

其中所述被动阻尼系统包括阻尼垫，所述阻尼垫位于阀座的接收部的结构和隔膜背衬之间；

所述隔膜背衬位于隔膜和所述阻尼垫之间。

2.如权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述被动阻尼系统还包括阻尼垫圈，并且其中，所述阻尼垫位于所述阻尼垫圈和所述隔膜背衬之间并且抵靠所述阻尼垫圈和所述隔膜背衬。

3.如权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述被动阻尼系统还包括一个或多个柱塞球，所述一个或多个柱塞球位于所述阻尼垫和所述阀座之间。

4.如权利要求3所述的质量流量控制器，其中所述一个或多个柱塞球联接到所述阀座。

5.如权利要求3所述的质量流量控制器，其中所述柱塞球是弹簧加载的。

6.如权利要求4所述的质量流量控制器，其中所述柱塞球由不锈钢制成。

7.如权利要求4所述的质量流量控制器，其中所述柱塞球由合金制成。

8.如权利要求4所述的质量流量控制器，其中所述柱塞球由金属制成。

9.如权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述被动阻尼系统还包括波形弹簧，所述波形弹簧位于所述阻尼垫和所述阀座之间。

10.如权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述质量流量传感器包括使用热传感器的基于热的质量流量控制器。

11.如权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述质量流量控制器包括用于确定所述流体的压力的至少一个压力传感器和至少一个限流器。

12.如权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述质量流量传感器包括用于流量感测的至少一个科里奥利管。

13.一种质量流量控制器，包括：

入口，所述入口接收流体；

流体通道，所述流体在所述流体通道中通过所述质量流量控制器；

质量流量传感器，所述质量流量传感器提供信号，所述信号与流过所述流体通道的所述流体的质量流量相对应；

控制阀，所述控制阀调节从所述质量流量控制器的出口流出的所述流体的流量；以及

阻尼垫，所述阻尼垫位于阀座的接收部的结构和隔膜背衬之间；

所述隔膜背衬位于隔膜和所述阻尼垫之间。

14.如权利要求13所述的质量流量控制器，还包括垫圈，所述垫圈位于所述阻尼垫和所述阀座的所述接收部的所述结构之间。

15.如权利要求14所述的质量流量控制器，还包括弹簧装置，所述弹簧装置位于所述垫圈和所述阀座的所述接收部的所述结构之间。

16.如权利要求13所述的质量流量控制器，其中所述阻尼垫从所述控制阀延伸到大约所述阀座的所述接收部的所述结构处。