[发明专利]用于利用激光束加工工件的设备在审
| 申请号： | 201880064929.7 | 申请日： | 2018-10-04 |
| 公开（公告）号： | CN111194249A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | D·希珀特;G·拉波特;M·埃普勒;H·迪厄;B·里彻兹哈根 | 申请（专利权）人： | 辛诺瓦有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/03 | 分类号： | B23K26/03;B23K26/146 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华;何月华 |
| 地址： | 瑞士杜*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 利用 激光束 加工 工件 设备 | ||
1.一种利用激光束(102)加工工件(101)的设备(100，200，300，700)，所述设备(100，200，300，700)包括：
加工单元(103)，所述加工单元(103)被配置为将加压的流体射流(104)提供到所述工件(101)上，并将所述激光束(102)通过至少一个光学元件(105)朝向所述工件(101)耦合到所述流体射流(104)中；
感测单元(107)，所述感测单元(107)被布置为接收远离所述工件(101)传播通过所述流体射流(104)以及通过所述至少一个光学元件的激光感应的电磁辐射(106)并被配置为将接收到的所述电磁辐射(106)转换成信号(108)；
信号处理单元(109)，所述信号处理单元(109)被配置为基于所述信号(108)确定加工所述工件(101)的状态。
2.根据权利要求1所述的设备(100，200，300，700)，其中，
所述信号处理单元(109)被配置为对于加工所述工件(101)的状态，确定所述激光束(102)是否已经穿透所述工件(101)。
3.根据权利要求1或2所述的设备(100，200，300，700)，其中，
所述感测单元(107)被布置为接收传播通过所述流体射流(104)和通过所述至少一个光学元件(105)的所述激光感应的电磁辐射(106)，所述至少一个光学元件(105)被配置为将所述激光束(102)耦合到所述流体射流(104)中。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的设备(700)，包括：
光学头(701)，所述光学头(701)包括所述加工单元(103)；以及
激光单元(703)，所述激光单元(703)包括所述感测单元(107)。
5.根据权利要求4所述的设备(700)，还包括：
光学连接元件(702)，所述光学连接元件(702)特别地为光纤，所述光学连接元件(702)用于将所述光学头(701)和所述激光单元(703)光学地连接，其中，
所述光学头(701)中的所述加工单元(103)被配置为通过所述光学连接元件(702)接收所述激光束(102)；以及
所述激光单元(703)中的所述感测单元(107)被配置为通过所述光学连接元件(702)接收所述激光感应的电磁辐射(106)。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的设备(300)，其中，
所述至少一个光学元件(105)包括用于将所述激光束(102)耦合到所述流体射流(104)中的透镜(305)；以及
所述感测单元(107)被布置为接收反向传播通过所述透镜(305)的所述激光感应的电磁辐射(106)。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的设备(200，300，700)，包括：
光谱分离单元(202)，所述光谱分离单元(202)优选为光学滤光器单元，所述光谱分离单元(202)被配置为仅将包括所述激光感应的电磁辐射(106)的至少一部分的感兴趣的电磁辐射(203)分离到所述感测单元(107)上和/或被配置为防止初始激光(102)到达所述感测单元(107)。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的设备(100，200，300，700)，其中，
所述激光感应的电磁辐射(106)包括从所述工件(101)的利用所述激光束(102)加工的部分发射的二次辐射(206a)。
9.根据权利要求1至7中任一项所述的设备(100，200，300，700)，其中，
所述激光感应的电磁辐射(106)包括从所述工件(101)反射的一次激光辐射(206b)。
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