[发明专利]过氧化氢去除方法及装置

权利要求书

1.一种过氧化氢去除方法，其是向具有并列设置的铂系催化剂填充容器的过氧化氢去除装置中通入含过氧化氢的水以去除过氧化氢的过氧化氢去除方法，其特征是，

进行以下过氧化氢去除性能恢复操作：

停止向一部分的该铂系催化剂填充容器中的含过氧化氢的水的通水，将填充于该容器的铂系催化剂在超纯水中保存规定时间。

2.如权利要求1所述的过氧化氢去除方法，其特征是，

所述过氧化氢去除性能恢复操作是，将已停止所述通水的容器内的水置换为超纯水，将所述铂系催化剂在该容器内的超纯水中保存规定时间的操作。

3.如权利要求1所述的过氧化氢去除方法，其特征是，

所述过氧化氢去除性能恢复操作是，从已停止所述通水的容器中取出该容器内的铂系催化剂，将取出的铂系催化剂在超纯水中保存规定时间后，再次填充于该容器的操作。

4.如权利要求1所述的过氧化氢去除方法，其特征是，

向所述超纯水中供给非氧化性气体。

5.如权利要求2所述的过氧化氢去除方法，其特征是，

向所述超纯水中供给非氧化性气体。

6.如权利要求3所述的过氧化氢去除方法，其特征是，

向所述超纯水中供给非氧化性气体。

7.如权利要求4所述的过氧化氢去除方法，其特征是，

所述非氧化性气体为氮气。

8.如权利要求5所述的过氧化氢去除方法，其特征是，

所述非氧化性气体为氮气。

9.如权利要求6所述的过氧化氢去除方法，其特征是，

所述非氧化性气体为氮气。

10.如权利要求1至9中任一项所述的过氧化氢去除方法，其特征是，

所述超纯水是溶解了氢的超纯水。

11.如权利要求1至9中任一项所述的过氧化氢去除方法，其特征是，

所述过氧化氢去除装置设置于超纯水制造装置，在所述规定时间内，增加向所述一部分以外的铂系催化剂填充容器中的通水量。

12.如权利要求10所述的过氧化氢去除方法，其特征是，

所述过氧化氢去除装置设置于超纯水制造装置，在所述规定时间内，增加向所述一部分以外的铂系催化剂填充容器中的通水量。

13.一种过氧化氢去除装置，其特征是，

具备：

并列设置的铂系催化剂填充容器，

向各容器中通入含过氧化氢的水的含过氧化氢水的通水机构，

向各容器中供给非氧化性气体或氢溶解水的供给机构，及

对向各容器中的含过氧化氢水的通水与非氧化性气体或氢溶解水的供给进行切换的切换机构。