[发明专利]膨胀涡轮

权利要求书

1.一种膨胀涡轮，其特征在于，

具备：

转子构件，所述转子构件具有旋转轴和安装于所述旋转轴的一端侧并在所述旋转轴旋转时吸入并膨胀工艺气体的第一叶轮；以及

将所述转子构件能旋转地容纳的壳体构件；

所述壳体构件具有：

支持所述旋转轴的轴承部；

向所述旋转轴与所述轴承部之间的第一区域供给气体的第一气体供给路；

使向所述第一区域供给的气体从所述第一区域排出的气体排出路；以及

与所述第一气体供给路或所述气体排出路的任一方连接，向位于所述转子构件与所述壳体构件之间的第二区域供给气体的第二气体供给路；

所述壳体构件具有至少覆盖所述第一叶轮的背面部的罩；

所述罩上形成有供所述旋转轴能旋转地插通的插通部；

所述第二区域是和所述旋转轴与所述插通部之间的第三区域连通的区域；

所述第三区域在所述第三区域中的所述一端侧的相反侧即另一端侧的端部处与所述第二区域连通；

所述轴承部具备径向支持所述旋转轴的径向轴承部和轴向支持所述旋转轴的轴向轴承部；

所述第二气体供给路进一步形成为使从所述径向轴承部排出的轴承气体的气体排出路弯曲而与所述第二区域连接，从而向所述第二区域供给气体。

2.根据权利要求1所述的膨胀涡轮，其特征在于，

向所述第二区域供给比通过所述第一叶轮进行膨胀的工艺气体的温度高的温度的气体。

3.根据权利要求2所述的膨胀涡轮，其特征在于，

在所述插通部上设置有密封部，所述密封部对所述第一叶轮吸入的工艺气体沿所述旋转轴向比所述插通部靠近所述一端侧的相反侧即另一端侧处的泄漏进行密封。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的膨胀涡轮，其特征在于，

所述轴承部形成有多个，与多个所述轴承部各自对应地形成有多个所述第一区域及多条所述气体排出路，多条所述气体排出路全部与所述第二区域连接。

5.根据权利要求1至3中的任一项所述的膨胀涡轮，其特征在于，

所述第一气体供给路是仅向所述旋转轴与所述轴向轴承部之间的第四区域供给气体的气体的流路；

所述气体排出路是仅从所述第四区域排出的气体的流路。

6.一种膨胀涡轮，其特征在于，

具备：

转子构件，所述转子构件具有旋转轴、安装于所述旋转轴的一端侧并在所述旋转轴旋转时吸入并膨胀工艺气体的第一叶轮和安装于所述旋转轴的所述一端侧的相反侧即另一端侧并在所述旋转轴旋转时吸入并压缩工艺气体的第二叶轮；以及

将所述转子构件能旋转地容纳的壳体构件；

所述壳体构件具备：

第三气体供给路，所述第三气体供给路连接位于所述转子构件与所述壳体构件之间的第二区域和通过所述第二叶轮压缩的气体的流路之间，使通过所述第二叶轮压缩的气体向所述第二区域供给；以及

至少覆盖所述第一叶轮的背面部的罩；

所述罩上形成有供所述旋转轴能旋转地插通的插通部；

所述第二区域是和所述旋转轴与所述插通部之间的第三区域连通的区域；

所述第三区域在所述第三区域中的所述一端侧的相反侧即另一端侧的端部处与所述第二区域连通；

所述第三气体供给路进一步形成为使从通过所述第二叶轮压缩的气体的流路弯曲而与所述第二区域连接，从而向所述第二区域供给气体。