[发明专利]研磨垫及其制造方法有效
| 申请号： | 201880066479.5 | 申请日： | 2018-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN111212705B | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 宫坂博仁;立野哲平;松冈立马;栗原浩;三国匠 | 申请（专利权）人： | 富士纺控股株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 陈彦;孔博 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 及其 制造 方法 | ||
1.一种研磨垫，其为具备研磨层的研磨垫，所述研磨层具有包含大致球状的气泡的聚氨酯片，在将预先暴露于温度23℃、相对湿度90％的环境下的所述聚氨酯片在40℃、初始载荷148g、变形范围0.1％、测定频率1.6Hz、拉伸模式下的储能模量设为E’(90％)，
将预先暴露于温度23℃、相对湿度30％的环境下的所述聚氨酯片在40℃、初始载荷148g、变形范围0.1％、测定频率1.6Hz、拉伸模式下的储能模量设为E’(30％)时，
E’(90％)/E’(30％)为0.4～0.7的范围内，并且
在将预先暴露于温度23℃、相对湿度90％的环境下的所述聚氨酯片在40℃、初始载荷148g、变形范围0.1％、测定频率1.6Hz、拉伸模式下的KEL设为KEL(90％)，
将预先暴露于温度23℃、相对湿度30％的环境下的所述聚氨酯片在40℃、初始载荷148g、变形范围0.1％、测定频率1.6Hz、拉伸模式下的KEL设为KEL(30％)时，
KEL(90％)/KEL(30％)为2～4的范围内。
2.根据权利要求1所述的研磨垫，所述聚氨酯片的E’(30％)为280～600MPa。
3.根据权利要求1或2所述的研磨垫，所述聚氨酯片的KEL(90％)为450～1500(1/Pa)。
4.根据权利要求1或2所述的研磨垫，所述聚氨酯片包含平均粒径10～150μm的中空体。
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