[发明专利]氮化硼粉末、其制造方法及使用其的散热构件

权利要求书

1.氮化硼粉末，其包含一次粒子为鳞片状的六方晶氮化硼凝集成块状粒子而得的块状氮化硼，

所述氮化硼粉末具有以下的(A)～(C)的特征：

(A)所述块状粒子的累积破坏率为63.2％时的粒子强度为5.0MPa以上；

(B)所述氮化硼粉末的、以未施以均化器处理的方式测得的平均粒径为2μm以上且20μm以下；

(C)所述氮化硼粉末的根据X射线衍射求出的取向性指数为20以下。

2.散热构件，其包含权利要求1所述的氮化硼粉末，且膜厚为100μm以下。

3.权利要求1所述的氮化硼粉末的制造方法，其包括如下工序：

加压氮化烧成工序，在1800℃以上并且0.6MPa以上的氮加压气氛下，对碳量为18％以上且21％以下并且平均粒径为5μm以上且15μm以下的碳化硼进行烧成；

脱碳结晶化工序，将通过所述加压氮化烧成工序而得到的烧成物与硼源混合，上升至能开始脱碳的温度后，以5℃/min以下的升温速度进行升温，直至达到1800℃以上的保持温度，以所述保持温度的氮气氛进行保持，由此得到块状氮化硼；和

粉碎工序，将通过所述脱碳结晶化工序而得到的块状氮化硼粉碎，得到以未施以均化器处理的方式测得的平均粒径为2μm以上且20μm以下的氮化硼粉末。

4.权利要求1所述的氮化硼粉末的制造方法，其包括如下工序：

气相反应工序，使硼酸醇酯气体及氨气于750℃以上进行气相反应；

结晶化工序，以直到1000℃为止时在20体积％以下的氨气氛下、1000℃以上时在50体积％以上的比例的氨气氛下的条件，对通过所述气相反应工序而得到的中间体进行升温，直至达到1500℃以上的烧成温度，于所述烧成温度进行烧成，得到块状氮化硼；和

粉碎工序，将通过所述结晶化工序而得到的块状氮化硼粉碎，得到以未施以均化器处理的方式测得的平均粒径为2μm以上且20μm以下的氮化硼粉末。