[发明专利]光感测装置有效
申请号: | 201880066633.9 | 申请日: | 2018-11-12 |
公开(公告)号: | CN111213049B | 公开(公告)日: | 2023-08-04 |
发明(设计)人: | 盐野照弘;安藤贵真 | 申请(专利权)人: | 松下知识产权经营株式会社 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;A61B5/02;G01N21/17;G01N21/359;H01L31/12;H01S5/02 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 安香子 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光感测 装置 | ||
1.一种光感测装置,其特征在于,
具备激光装置、光检测器和对上述激光装置及上述光检测器进行控制的控制电路;
上述激光装置包括:
光源,射出激光;
扩散部件,具有与上述激光的光路交叉的扩散面,通过使上述激光折射或衍射,降低包括与上述光路交叉的上述激光的截面的中心的第1部分中的上述激光的强度,提高在上述截面中包围上述第1部分的上述激光的第2部分中的上述激光的强度,并且扩大上述激光的束径;以及
屏幕,与透射上述扩散部件后的上述激光的光路交叉;
上述扩散部件构成为,当上述激光透射上述扩散部件时,上述激光以第1扩散角扩散,上述屏幕构成为,当上述激光透射上述屏幕或被上述屏幕反射时,上述激光以第2扩散角扩散,上述第1扩散角比上述第2扩散角大;
上述激光装置用透射了上述屏幕的上述激光或被上述屏幕反射的上述激光照射对象物;
上述光检测器检测从上述对象物返回来的上述激光的至少一部分,输出电信号;
上述控制电路使上述激光装置用上述激光的至少1个光脉冲照射上述对象物;
上述控制电路使上述光检测器进行从上述对象物返回来的上述激光的至少1个反射光脉冲的时间分解计测。
2.如权利要求1所述的光感测装置,其特征在于,
上述扩散面上的上述激光的束径小于10mm。
3.如权利要求1或2所述的光感测装置,其特征在于,
上述屏幕上的上述激光的束径是10mm以上。
4.如权利要求1或2所述的光感测装置,其特征在于,
上述对象物的表面上的上述激光的束径比上述屏幕上的上述激光的束径大。
5.如权利要求1或2所述的光感测装置,其特征在于,
上述扩散部件在上述扩散面还包括透镜阵列。
6.如权利要求1或2所述的光感测装置,其特征在于,
上述屏幕包括在上述屏幕的表面上二维地交替配置的多个凹部及多个凸部;
上述多个凹部各自的深度及上述多个凸部各自的高度分别是2μm至30μm。
7.如权利要求1或2所述的光感测装置,其特征在于,
上述屏幕包括第1层及第2层;
上述第1层的折射率与上述第2层的折射率不同。
8.如权利要求1或2所述的光感测装置,其特征在于,
上述屏幕包括在上述屏幕的表面上二维地交替配置的多个第1部及多个第2部;
上述多个第1部各自的折射率与上述多个第2部各自的折射率不同。
9.如权利要求1或2所述的光感测装置,其特征在于,
当设上述屏幕的厚度为d,
设上述屏幕的等价散射系数为μs’,
设上述屏幕的散射系数为μs时,
满足1/μs≤d≤1/μs’。
10.如权利要求1或2所述的光感测装置,其特征在于,
从上述扩散部件到上述屏幕的距离比从上述光源到上述扩散部件的距离长。
11.如权利要求1或2所述的光感测装置,其特征在于,
还具备光学部件,该光学部件配置在上述扩散部件与上述屏幕之间,具有第1表面及与上述第1表面相反侧的第2表面;
上述扩散部件配置在上述第1表面上;
上述屏幕配置在上述第2表面上。
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