[发明专利]化学品传感器及其形成方法

权利要求书

1.一种化学品传感器，包括：

基板，所述基板包括第一密封腔以及与所述第一密封腔分开的第二密封腔；

发射器，所述发射器位于所述第一密封腔中，所述发射器配置为发射红外光；

检测器，所述检测器位于所述第二密封腔中；以及

波导，所述波导配置为将所述红外光从所述发射器输送到所述检测器；

其中，所述波导包括传感部分，所述传感部分配置为使通过所述传感部分输送的所述红外光的特性响应于与所述传感部分接触的化学实体而改变；并且

其中，所述检测器配置为检测所述特性上的改变。

2.如权利要求1所述的化学品传感器，

其中，所述第一密封腔是真空密封腔；并且

其中，所述第二密封腔是进一步的真空密封腔。

3.如权利要求1所述的化学品传感器，

其中，所述传感部分暴露以允许化学品与所述传感部分接触。

4.如权利要求3所述的化学品传感器，所述化学品传感器还包括：

覆层，所述覆层覆盖所述波导的剩余部分。

5.如权利要求1所述的化学品传感器，还包括：

第一光栅耦合器，所述第一光栅耦合器配置为将红外光从所述发射器耦合到所述波导；以及

第二光栅耦合器，所述第二光栅耦合器配置为将红外光从所述波导耦合到所述检测器。

6.如权利要求5所述的化学品传感器，还包括：

第一反射器，所述第一反射器配置为将红外光从所述第一光栅耦合器定向到所述波导；以及

第二反射器，所述第二反射器配置为将红外光从所述波导定向到所述第二光栅耦合器。

7.如权利要求1所述的化学品传感器，

其中，所述发射器悬挂在所述第一密封腔中；并且

其中，所述检测器悬挂在所述第二密封腔中。

8.如权利要求1所述的化学品传感器，

其中，所述基板包括第一晶片以及连接到所述第一晶片的第二晶片以形成所述第一密封腔和所述第二密封腔。

9.如权利要求8所述的化学品传感器，

其中，所述第二晶片包括所述波导。

10.如权利要求8所述的化学品传感器，

其中，所述第一晶片真空连接到所述第二晶片。

11.如权利要求1所述的化学品传感器，

其中，所述基板包括晶片和在所述晶片之上的封装层以形成所述第一密封腔和所述第二密封腔。

12.如权利要求11所述的化学品传感器，

其中，所述封装层包括所述波导。

13.如权利要求1所述的化学品传感器，所述化学品传感器还包括：

在所述第二密封腔中的进一步检测器；

进一步波导，所述进一步波导配置为将红外光从所述发射器输送到所述进一步检测器；

其中，所述进一步波导配置为用作参考。

14.如权利要求13所述的化学品传感器，还包括：

覆层，所述覆层完全覆盖所述进一步波导。