[发明专利]带电粒子束的空间相位操纵

权利要求书

1.一种用于局部操纵沿束轴(Z)传播的带电粒子波的空间相位分布的装置(1)，所述装置包括：

支撑元件(2)，其具有用于接收沿所述束轴(Z)传播的所述带电粒子波的目标区域，

由所述支撑元件(2)支撑且位于所述目标区域中的多个相位调节元件(3)，其用于在所述带电粒子波撞击所述相位调节元件时局部调节所述带电粒子波的相位，以及

多条控制线(4)，其连接到所述多个相位调节元件以用于单独控制每一个相位调节元件。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述多个相位调节元件被组织成二维阵列。

3.如前述权利要求中的任一项所述的装置，其特征在于，每一个相位调节元件(3)直接连接到相应的控制线(4)以用于将该相位调节元件直接连接到控制器(5)。

4.如前述权利要求中的任一项所述的装置，其特征在于，所述相位调节元件(3)在逻辑上被组织成逻辑行和逻辑列，以使得每一个相位调节元件(3)能由至少一个列索引和一个行索引来唯一地标识。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，每一个相位调节元件(3)直接连接到所述多条控制线(4)中的一对控制线以用于将该相位调节元件连接到控制器(5)，该对控制线包括列信号线(15)和行信号线(14)，所述列信号线和所述行信号线分别连接到形成逻辑列的相位调节元件和形成逻辑行的相位调节元件。

6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述相位调节元件(3)包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管具有连接到所述行信号线(14)的第一端子、连接到所述列信号线(15)的第二端子、以及连接到电存储的第三端子。

7.如前述权利要求中的任一项所述的装置，其特征在于，所述多个相位调节元件(3)被布置成笛卡尔网格图案或者极栅网格图案。

8.如前述权利要求中的任一项所述的装置，其特征在于，每一个相位调节元件(3)被成形为圆弧、圆的扇形或圆的弓形。

9.如前述权利要求中的任一项所述的装置，其特征在于，每一个相位调节元件(3)包括静电相位调节元件。

10.如权利要求9所述的装置，其特征在于，所述静电相位调节元件包括电极(11)，并且其中所述控制线(4)中的至少一条控制线被适配成控制所述电极(11)的电势(V₁₁、V₁₂、V₂₁、V₂₂)。

11.如权利要求10所述的装置，其特征在于，所述电极(11)是圆柱形、螺旋管形或环形。

12.如权利要求9到11中的任一项所述的装置，其特征在于，包括分别形成所述多个相位调节元件(3)的所述电极(11)上方的平面和/或下方的平面的第一参考电极(12)和/或第二参考电极(13)，其中所述第一参考电极(12)和/或所述第二参考电极(13)被供应参考电势(接地)。

13.如权利要求9所述的装置，其特征在于，所述装置包括静电镜，所述静电镜包括形成所述多个相位调节元件(3)的图案化电极阵列。

14.如前述权利要求中的任一项所述的装置，其特征在于，所述多个相位调节元件(3)包括可控磁性元件，每一个可控磁性元件被适配成局部控制磁场以便由于阿哈罗诺夫-博姆效应而局部调节所述带电粒子波的相位。

15.如前述权利要求中的任一项所述的装置，其特征在于，包括控制器，所述控制器连接到所述多条控制线以用于控制由每一个相位调节元件单独导致的对所述带电粒子束的局部相位调节。