[发明专利]筒辊与长条基板处理装置以及长条基板处理装置的管理方法

说明书

本发明的课题是提供一种不会从未卷绕有长条基板的筒辊的非缠膜部区域泄漏冷却用气体的筒辊以及使用该筒辊的长条基板处理装置。本发明是一种带有气体释放机构的筒辊，经由通过旋转环单元(21)与固定环单元(22)构成的旋转接头来有选择性地对设置于筒辊的多个气体导入通路供给气体，所述筒辊的特征在于，嵌入在固定环单元的环状凹槽(27a)内的圆弧状填料部件(42)，通过填料安装夹具(43)的活塞部件向旋转环单元的旋转开口部(23a)侧施力来安装，关闭旋转开口部从而防止从非缠膜部区域泄露气体。另外，活塞部件的活塞轴(91)的行程范围受到限制，即使圆弧状填料部件磨耗，由于活塞轴(91)的前端不会从旋转开口部侧突出，因此也能够防止旋转开口部的破损。

技术领域

本发明涉及在将在真空腔室内以卷对卷(Roll-to-roll)的方式输送的长条耐热性树脂膜等长条基板卷绕于筒辊的外周面的状态下进行离子束处理、溅射成膜等施加热负荷的表面处理的长条基板处理装置，特别地涉及具有高冷却效果的气体释放机构且能够抑制从未卷绕有长条基板的筒辊外周面泄露气体的筒辊以及使用该筒辊的长条基板处理装置的改良。

背景技术

在液晶面板、笔记本电脑、数码相机、便携式电话等中使用柔性布线基板。柔性布线基板，由在耐热性树脂膜的单面或两面成膜有金属膜而成的带有金属膜的耐热性树脂膜来制作。近年来，形成于柔性布线基板的布线图案越来越微细化、高密度化，带有金属膜的耐热性树脂膜自身是没有褶皱等的平滑的膜，就变得更为重要。

作为这种带有金属膜的耐热性树脂膜的制造方法，已知通过粘接剂将金属箔贴附于耐热性树脂膜来制造的方法(称作三层基板的制造方法)、在将耐热性树脂溶液涂布于金属箔后使其干燥来制造的方法(称作流延法)、通过干式镀敷法(真空成膜法)或通过结合干式镀敷法(真空成膜法)与湿式镀敷法将金属膜成膜于耐热性树脂膜来制造的方法(称作金属化法(Metallizing Method))等。另外，在金属化法中的上述干式镀敷法(真空成膜法)中，有真空蒸镀法、溅射法、离子镀法、离子束溅射法等。

作为上述金属化法，在专利文献1中公开了以下方法：在聚酰亚胺绝缘层上溅射铬后，溅射铜从而在聚酰亚胺绝缘层上形成导体层。另外，在专利文献2中公开了一种在聚酰亚胺膜上按照第一金属薄膜及第二金属薄膜的顺序层叠而成的柔性电路基板用材料，所述第一金属薄膜是以铜镍合金为靶并通过溅射而形成的，所述第二金属薄膜是以铜为靶并通过溅射而形成的。需要说明的是，为了在如聚酰亚胺膜那样的耐热性树脂膜(基板)上进行真空成膜，通常使用溅射镀膜机(Sputtering web coater)。

在上述真空成膜法中，通常认为溅射法的密接力优异，但其与真空蒸镀法相比，给予耐热性树脂膜的热负荷大。而且，已知如果在成膜时对耐热性树脂膜施加较大的热负荷，则膜中变得容易产生褶皱。为了防止该褶皱的产生，在作为带有金属膜的耐热性树脂膜的制造装置的溅射镀膜机中配备具备冷却功能的筒辊，并采用以下方式：通过对该筒辊进行旋转驱动并将以卷对卷的方式输送的耐热性树脂膜卷绕于由所述筒辊外周面划定的输送路径，从而将溅射处理中的耐热性树脂膜从其背面侧进行冷却。

例如，在专利文献3中公开了作为溅射镀膜机的一个示例的放卷收卷式(卷对卷方式)真空溅射装置。该放卷收卷式真空溅射装置中具备承担上述筒辊的作用的冷却辊，并且进行控制，该控制是通过至少设置于冷却辊的膜送入侧或送出侧的子辊来使膜密接于冷却辊。

但是，如非专利文献1中所记载的那样，微观上进行观察时，筒辊的外周面不是平坦的，因此，筒辊和密接于其外周面地输送的膜之间存在经由真空空间而分开的空隙部(间隙)。因此，溅射、蒸镀时产生的膜中的热实际上并没有从膜高效地传至筒辊，这成为膜产生褶皱的原因。

因此，提出了将气体从筒辊侧导入上述筒辊外周面与膜之间的空隙部，将空隙部的热传导率提高至高于真空的技术。