[发明专利]监测离子束的装置、控制离子束的装置及方法

权利要求书

1.一种监测离子束的装置，包括：

处理器；以及

存储单元，耦合到所述处理器，所述存储单元包括显示例程，所述显示例程能够在所述处理器上运行以管理对所述离子束的监测，所述显示例程包括：

测量处理器，用于：

接收所述离子束的多个点束轮廓，所述点束轮廓是在所述离子束的快速扫描及与所述快速扫描同时实施的探测器的慢速机械扫描期间收集的，所述快速扫描包括沿快速扫描方向以10Hz或大于10Hz的频率进行的多个扫描循环，且所述慢速机械扫描是在与所述快速扫描方向平行的方向上执行的；

从所述探测器接收位置信息，所述位置信息包括在多个情形中收集的多个探测器位置；

接收与所述多个探测器位置对应的多个点束轮廓；

确定所述多个探测器位置处的点束中心位置；

确定所述点束中心位置与所述多个探测器位置的理想中心位置之间的差；以及

发送信号以将所述差作为探测器位置的函数进行显示。

2.根据权利要求1所述的装置，所述测量处理器响应于用户输入而发送信号以显示所述多个点束轮廓中的至少一些点束轮廓。

3.根据权利要求2所述的装置，所述测量处理器发送信号来以叠加方式显示所述多个点束轮廓中的所述至少一些点束轮廓。

4.根据权利要求1所述的装置，所述测量处理器用于：

确定所述多个点束轮廓的点束半宽；以及

响应于用户输入，发送信号以显示所述点束半宽与所述多个点束轮廓中的至少一些点束轮廓的理想束半宽之间的差。

5.根据权利要求1所述的装置，所述测量处理器从所述多个点束轮廓产生多个平均点束轮廓，其中平均点束轮廓包括接连地记录的至少三个点束轮廓的平均值。

6.一种控制离子束的装置，包括：

束扫描器，沿快速扫描方向以10Hz或大于10Hz的频率在多个扫描循环内执行所述离子束的快速扫描；

探测器，被设置成拦截所述离子束，并与所述快速扫描同时地执行慢速扫描，所述慢速扫描包括沿与所述快速扫描方向平行的扫描路径将所述探测器从第一位置移动到第二位置，其中所述探测器在所述慢速扫描期间接收到多个点束轮廓；

用户界面，耦合到所述探测器；以及

控制器，耦合到所述束扫描器、所述用户界面及所述探测器，所述控制器包括：

处理器；以及

存储单元，耦合到所述处理器，所述存储单元包括显示例程，所述显示例程能够在所述处理器上运行来发送显示信号，以在所述用户界面上显示从所述多个点束轮廓导出的至少一组信息，

其中所述用户界面包括多个字段及至少一个用户选择器件，其中所述显示例程能够运行以响应于从所述至少一个用户选择器件接收的用户输入来发送所述显示信号，

其中所述至少一个用户选择器件包括绝对点位置按钮，所述显示例程能够在所述处理器上运行以响应于来自所述绝对点位置按钮的输入信号而发送第一显示信号，以在所述多个字段中的选择字段中呈现所述多个点束轮廓中的至少一些点束轮廓，其中所述至少一些点束轮廓是作为沿所述扫描路径的位置的函数进行呈现。

7.根据权利要求6所述的装置，所述至少一个用户选择器件包括束射线映射按钮，所述显示例程能够在所述处理器上运行以响应于来自所述束射线映射按钮的输入信号而向所述束扫描器及所述探测器发送扫描起始信号，其中所述束扫描器执行所述快速扫描且所述探测器同时执行所述慢速扫描。

8.根据权利要求6所述的装置，所述至少一个用户选择器件包括相对点位置按钮，所述显示例程能够在所述处理器上运行以响应于来自所述相对点位置按钮的输入信号而发送第二显示信号，以在所述多个字段中的选择字段中以叠加方式呈现所述多个点束轮廓中的至少一些点束轮廓。