[发明专利]加工装置及移动体的制造方法

权利要求书

1.一种加工装置，包括：

光照射装置，对物体的表面照射加工光；及

间隔壁构件，包围包含使所述加工光通过的所述光照射装置的光学系统中位于最靠所述物体侧的光学构件与所述物体的表面之间的光路的空间。

2.根据权利要求1所述的加工装置，其中

所述间隔壁构件与所述物体的表面协动而形成密闭空间。

3.根据权利要求1或2所述的加工装置，其中

所述间隔壁构件的所述物体侧的形状可变。

4.根据权利要求3所述的加工装置，其中

所述间隔壁构件的所述物体侧的形状根据所述物体的形状而变更。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的加工装置，其中

所述间隔壁构件相对于所述加工光的波长的光为不透明。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的加工装置，其中

所述间隔壁构件在所述物体照射有所述加工光时，与所述物体的表面协动而形成密闭空间。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的加工装置，其中

所述间隔壁构件与所述物体的表面为非接触。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的加工装置，进而包括：

抽吸装置，将伴随所述加工光的照射产生的物质抽吸。

9.根据权利要求8所述的加工装置，其中

所述抽吸装置自所述空间抽吸所述物质。

10.根据权利要求8或9所述的加工装置，其中

所述间隔壁构件不使所述物质透过。

11.根据权利要求8至10中任一项所述的加工装置，包含：

检测装置，检测所述空间内的所述物质。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的加工装置，进而包括：

气体供给装置，向所述空间供给气体。

13.根据权利要求12所述的加工装置，其中

所述气体供给装置向所述光学构件的所述空间侧的光学面供给所述气体。

14.根据权利要求12或13所述的加工装置，进而包括：

抽吸装置，将伴随所述加工光的照射产生的物质抽吸；且

所述抽吸装置将所述物质与供给至所述空间的所述气体一起抽吸。

15.根据权利要求8至10及14中任一项所述的加工装置，其中

所述抽吸装置包括使所述气体通过且吸附所述物质的过滤器。

16.根据权利要求12至15中任一项所述的加工装置，其中

所述气体供给装置是附着防止装置，所述附着防止装置防止污渍对所述光学构件的所述空间侧的光学面的附着和/或去除附着于所述光学面的污渍。

17.根据权利要求1至11中任一项所述的加工装置，进而包括：

附着防止装置，防止污渍对所述光学构件的所述空间侧的光学面的附着和/或去除附着于所述光学面的污渍。

18.根据权利要求17所述的加工装置，其中

所述附着防止装置包含向所述光学面供给包含气体及液体的至少一者的流体的流体供给装置。

19.根据权利要求17或18所述的加工装置，其中

所述附着防止装置包含对所述光学面进行擦拭的擦拭装置。