[发明专利]用于延长激光室中电极寿命的方法和装置

权利要求书

1.一种激光器，包括：

放电室；

第一电极，至少部分地定位在所述放电室内；

第二电极，至少部分地定位在所述放电室内，所述第一电极具有第一放电表面，并且所述第二电极具有第二放电表面，所述第一放电表面和所述第二放电表面被布置为跨间隙彼此面对；以及

马达，机械地耦合至所述第二电极，以定位所述第二放电表面，以控制所述间隙的宽度；

其中所述第一电极的极性相对于所述第二电极的极性为正，使得所述第一电极在所述放电室中在放电期间用作阳极。

2.根据权利要求1所述的激光器，其中所述第一电极的位置相对于所述放电室固定。

3.根据权利要求1所述的激光器，其中所述第一电极包括当所述第一电极在所述放电室中在放电期间用作阳极时形成抗腐蚀涂层的材料。

4.根据权利要求1所述的激光器，还包括应用到所述第一电极的抗腐蚀涂层。

5.根据权利要求1所述的激光器，还包括连接至所述马达的控制器，其中所述控制器向所述马达提供控制信号以控制所述间隙的所述宽度。

6.根据权利要求5所述的激光器，其中所述控制器控制所述马达以将所述间隙的所述宽度维持在预定范围内。

7.根据权利要求5所述的激光器，其中所述控制器至少部分地基于在放电期间维持基本上恒定的输出功率所需的、在所述第一电极和所述第二电极之间的电压差的大小来产生所述控制信号。

8.根据权利要求5所述的激光器，还包括连接至所述控制器的检测器，所述检测器用于测量所述间隙的宽度并提供指示所述宽度的信号，其中所述控制器至少部分地基于由所述检测器测量的所述宽度来产生所述控制信号。

9.根据权利要求所述的激光器，还包括电连接至所述第一电极和所述第二电极的电源，所述电源用于向所述第一电极和所述第二电极中的至少一个电极提供多个脉冲，所述电源包括换向器模块和压缩头模块，其中所述换向器模块和所述压缩头模块被修改，使得所述第一电极的所述极性相对于所述第二电极的极性为正，使得所述第一电极在所述脉冲期间用作阳极。

10.根据权利要求5所述的激光器，其中所述控制器至少部分地基于在所述放电室中已经发生的放电数目来产生所述控制信号。

11.一种激光器，包括：

放电室；

第一电极，至少部分地定位在所述放电室内并相对于所述放电室固定；

第二电极，至少部分地定位在所述放电室内，所述第一电极具有第一放电表面，并且所述第二电极具有第二放电表面，所述第一放电表面和所述第二放电表面被布置为跨间隙彼此面对，所述第一电极的极性相对于所述第二电极的极性为正，使得所述第一电极在所述放电室中在放电期间用作阳极，所述第一电极包括当所述第一电极在所述放电室中在放电期间用作阳极时形成抗腐蚀涂层的材料；

马达，机械地耦合至所述第二电极以定位所述第二放电表面，以控制所述间隙的宽度；以及

控制器，连接至所述马达，其中所述控制器向所述马达提供控制信号以将所述间隙的所述宽度维持在预定范围内。

12.根据权利要求11所述的激光器，其中所述控制器至少部分地基于在所述放电室中已经发生的放电数目来产生所述控制信号。