[发明专利]用于接收导电燃料的设备

权利要求书

1.一种用于接收导电燃料的设备，所述设备包括：

主体，限定用于接收燃料的表面；

电流产生机构，用于在所述主体中产生电流，所述电流具有至少平行于所述表面的分量；和

磁产生机构，布置成产生具有至少垂直于所述表面的分量的磁场，其中所述电流产生机构和所述磁产生机构配置成在使用中向所述燃料施加力。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述主体包括非导电支撑部分和导电材料层，所述导电材料层限定所述表面。

3.根据权利要求2所述的设备，其中所述导电材料层的至少一部分包括易被锡润湿的材料。

4.根据权利要求2或权利要求3所述的设备，其中所述导电材料层的至少一部分包括液锡层。

5.根据前述权利要求中任一项所述的设备，还包括布置成加热所述表面的加热器。

6.根据前述权利要求中任一项所述的设备，还包括用于收集入射在所述表面上的燃料的至少一部分的容器。

7.根据权利要求6所述的设备，其中所述电流产生机构被布置成产生电流，所述磁产生机构被布置成产生磁场使得向支持所述电流的介质施加力，所述力整体上指向所述容器。

8.根据前述权利要求中任一项所述的设备，其中所述电流产生机构布置成产生沿着大致第一线性方向横跨所述表面流动的电流。

9.根据前述权利要求中任一项所述的设备，其中所述磁产生机构包括电磁体。

10.根据前述权利要求中任一项所述的设备，还包括限定入口孔的壁。

11.根据权利要求10所述的设备，其中所述壁构成壳体的部分，所述壳体限定其内设置有所述主体的腔。

12.一种辐射系统，包括：

燃料发射器，配置成将燃料提供至等离子体形成区；

激励装置，布置成在所述等离子体形成区处提供激励束以将所述燃料的至少第一部分转换成发射辐射的等离子体；和

根据前述权利要求中任一项所述的设备，配置成收集所述燃料的至少第二部分。

13.根据权利要求12所述的辐射系统，其中所述主体的表面布置成使得所述燃料的所述第二部分以掠入射角入射到所述表面上。

14.一种光刻系统，包括：光刻设备，布置成将来自图案形成装置的图案投影到衬底上；和根据权利要求12-13中任一项所述的辐射系统，布置成将所述辐射的至少一些提供至所述光刻设备。

15.一种用于移动主体的表面上的导电燃料的沉积物的方法，所述方法包括：

产生具有至少垂直于所述表面的分量的磁场；

在所述主体中产生电流，所述电流具有至少与所述表面平行的分量，使得所述电流的至少一部分流动通过导电燃料的所述沉积物。