[发明专利]确定所关注的参数的值的方法、清除包含关于所关注的参数的信息的信号的方法有效

专利信息
申请号: 201880069926.2 申请日: 2018-10-10
公开(公告)号: CN111279268B 公开(公告)日: 2022-04-01
发明(设计)人: 周子理;G·范德祖克;N·潘迪;M·G·M·M·范卡拉埃吉;M·H·M·范维尔特;A·齐亚托马斯;S·塔拉布林;H·D·博斯 申请(专利权)人: ASML荷兰有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G03F1/24
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 王益
地址: 荷兰维*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 确定 关注 参数 方法 清除 包含 关于 信息 信号
【权利要求书】:

1.一种确定图案化过程的所关注的参数的值的方法,所述方法包括:

获得辐射的检测到的第一表示与第二表示,所述辐射由通过使用所述图案化过程形成的结构对偏振后的入射辐射的重引导提供,分别从重引导后的辐射的第一偏振分量与第二偏振分量导出检测到的所述第一表示与第二表示,其中:

检测到的所述第一表示的不对称性包括来自所述所关注的参数的贡献和来自不对称性的一个或更多个其它来源的贡献;

相比于检测到的所述第一表示的不对称性,检测到的所述第二表示的不对称性包括相对于来自所述所关注的参数的贡献更大的来自不对称性的所述一个或更多个其它来源的贡献;以及

所述方法还包括使用检测到的所述第一表示与第二表示的组合以确定所述所关注的参数的值,

其中来自不对称性的所述一个或更多个其它来源的贡献与所述结构无关。

2.根据权利要求1所述的方法,其中检测到的所述第二表示的不对称性实质上不包括来自所述所关注的参数的贡献。

3.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中所述第一偏振分量与所述第二偏振分量彼此正交。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中所述第一偏振分量与所述入射辐射的偏振正交。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中所述所关注的参数的值的所述确定包括使用检测到的所述第二表示以至少部分地识别和/或减小或移除来自所述一个或更多个其它来源的对于检测到的所述第一表示的不对称性的贡献。

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中所述所关注的参数的值的所述确定包括:

确定所述第二表示的不对称性;

基于所述第二表示的被确定的不对称性而修改检测到的所述第一表示的至少一部分;以及

确定修改后的检测到的第一表示的不对称性。

7.根据权利要求1-5中任一项所述的方法,其中所述所关注的参数的值的所述确定包括由检测到的所述第二表示划分检测到的所述第一表示。

8.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中来自所述一个或更多个其它来源的对于不对称性的总体贡献对于检测到的所述第一表示和检测到的所述第二表示两者是实质上相等的。

9.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中辐射的检测到的所述第一表示与第二表示主要具有零阶辐射。

10.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中辐射的检测到的所述第一表示与第二表示是辐射的检测到的光瞳表示。

11.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中所述结构包括:器件结构、或衬底管芯内的包括器件结构的非器件结构。

12.根据前述权利要求中任一项所述的方法,还包括:

利用所述偏振后的入射辐射照射所述结构;

使用第一传感器获得检测到的所述第一表示;以及

使用所述第一传感器或第二传感器获得与检测到的所述第一表示无关的检测到的所述第二表示。

13.根据权利要求12所述的方法,还包括使用依赖于偏振的束划分装置以将所述重引导后的辐射分成主要由所述第一偏振分量形成的第一辐射束和主要由所述第二偏振分量形成的第二辐射束。

14.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中所述所关注的参数包括所述结构中的不同层之间的重叠误差。

15.一种清除包含关于图案化过程的所关注的参数的信息的信号的方法,所述方法包括:

接收包括辐射的检测到的第一表示与第二表示的输入信号,所述辐射由通过使用所述图案化过程形成的结构对偏振后的入射辐射的重引导提供,分别从重引导后的辐射的第一偏振分量与第二偏振分量导出检测到的所述第一表示与第二表示,其中:

检测到的所述第一表示的不对称性包括来自所述所关注的参数的贡献和来自不对称性的一个或更多个其它来源的贡献;

相比于检测到的所述第一表示的不对称性,检测到的所述第二表示的不对称性包括相对于来自所述所关注的参数的贡献更大的来自不对称性的所述一个或更多个其它来源的贡献;以及

所述方法还包括使用检测到的所述第一表示与第二表示的组合而产生输出信号,其中所述输出信号的产生包括使用检测到的所述第二表示以减小来自不对称性的所述一个或更多个其它来源的对于所述输出信号的贡献,

其中来自不对称性的所述一个或更多个其它来源的贡献与所述结构无关。

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