[发明专利]含硅氧烷添加剂的组合物在处理50nm或更小尺寸的图案化材料时的用途

权利要求书

1.包含有机溶剂和至少一种式I-IV的添加剂的非水性组合物用于处理包含具有50nm或更小的线性空间尺寸和4或更大的纵横比的图案的基板的用途：

其中：

R¹、R²独立地选自H或C₁-C₁₀烷基，

n为0、1或2，

e、u、v为独立地选自0-5的整数，

b、d、w为独立地选自0-6的整数，

a、c、x为独立地选自1-22的整数，

y为1-5的整数，

R¹⁰、R¹²独立地选自H或C₁-C₁₀烷基，且

R¹¹对于各a、c和x独立地选自H、甲基和乙基，

其中式I、II、III或IV的所述至少一种添加剂以0.00005-1.0重量％的浓度存在，基于该组合物的总重量。

2.如权利要求1所述的用途，其中所述有机溶剂为极性质子有机溶剂。

3.如权利要求1所述的用途，其中所述有机溶剂为直链或支化C₁-C₁₀烷链烷醇。

4.如权利要求3所述的用途，其中所述有机溶剂为异丙醇。

5.如权利要求1-4中任一项所述的用途，其中所述非水性组合物中的水含量低于0.1重量％。

6.如权利要求1-4中任一项所述的用途，其中所述非水性组合物基本上由所述有机溶剂和式I、II、III或IV的所述至少一种添加剂组成。

7.如权利要求5所述的用途，其中所述非水性组合物基本上由所述有机溶剂和式I、II、III或IV的所述至少一种添加剂组成。

8.如权利要求1-4中任一项所述的用途，其中式I、II、III或IV的所述至少一种添加剂以0.001-0.1重量％的浓度存在。

9.如权利要求5所述的用途，其中式I、II、III或IV的所述至少一种添加剂以0.001-0.1重量％的浓度存在。

10.如权利要求6所述的用途，其中式I、II、III或IV的所述至少一种添加剂以0.001-0.1重量％的浓度存在。

11.如权利要求1-4中任一项所述的用途，其中所述至少一种添加剂为式I化合物，其中：

R¹、R²独立地选自H、甲基或乙基，

e为0、1或2，

b、d为0、1或2，

a、c为独立地选自1-22的整数，

R¹⁰、R¹²独立地选自H、甲基或乙基，且

R¹¹选自甲基或乙基。

12.如权利要求11所述的用途，其中R¹¹为甲基。

13.如权利要求5所述的用途，其中所述至少一种添加剂为式I化合物，其中：

R¹、R²独立地选自H、甲基或乙基，

e为0、1或2，

b、d为0、1或2，

a、c为独立地选自1-22的整数，

R¹⁰、R¹²独立地选自H、甲基或乙基，且

R¹¹选自甲基或乙基。