[发明专利]多端口流体输送系统中的堵塞检测有效
申请号: | 201880071755.7 | 申请日: | 2018-10-30 |
公开(公告)号: | CN111315533B | 公开(公告)日: | 2022-10-21 |
发明(设计)人: | R·C·南古伊;C·波拉德;A·L·德阿姆巴拉 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | B24B57/02 | 分类号: | B24B57/02;B24B37/04;B24B37/34;B24B49/00;H01L21/304;H01L21/306 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 汪骏飞;侯颖媖 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多端 流体 输送 系统 中的 堵塞 检测 | ||
1. 一种流体输送设备,包括:
流体分配歧管,所述流体分配歧管包括单体式歧管主体,所述单体式歧管主体具有入口端口、多个第一出口端口、压力测量端口、第一流体输送导管、多个第二流体输送导管以及形成于其中的多个压力测量导管,其中
所述多个第二流体输送导管将所述第一流体输送导管连接至所述多个第一出口端口中的对应出口端口以使得所述入口端口通过所述第一流体输送导管和所述多个第二流体输送导管与所述多个第一出口端口中的每一个流体连通;并且
所述多个压力测量导管将所述压力测量端口连接到所述多个第二流体输送导管中的相应的第二流体输送导管。
2.如权利要求1所述的流体输送设备,包括2个至20个第二流体输送导管。
3.如权利要求1所述的流体输送设备,其中所述单体式歧管主体由氟聚合物形成。
4.如权利要求1所述的流体输送设备,进一步包括压力测量装置,所述压力测量装置流体耦合到所述压力测量端口。
5.如权利要求1所述的流体输送设备,其中所述多个第二流体输送导管中的每一个具有0.5mm和5mm之间的直径。
6.如权利要求5所述的流体输送设备,进一步包括多个第一出口配件,所述多个第一出口配件相应地设置在所述多个第一出口端口中的每一个中,其中所述多个第一出口配件中的每一个经配置以将所述多个第二流体输送导管流体耦合到多个输送线中的对应输送线。
7.如权利要求6所述的流体输送设备,其中所述多个第一出口配件中的每一个分别与所述多个第一出口端口中的每一个形成面对面密封。
8.如权利要求1所述的流体输送设备,进一步包括多个第一出口配件,所述多个第一出口配件相应地设置在所述多个第一出口端口中的每一个中,其中所述多个第一出口配件中的每一个被配置为将所述多个第二流体输送导管流体耦合到多个输送线中的对应输送线,并且所述多个输送线中的一者或多者具有比与之流体耦合的所述多个第二流体输送导管中的对应第二流体输送导管更大的直径。
9.如权利要求6所述的流体输送设备,其中所述多个输送线相应地流体耦合到所述多个第二流体输送导管中的对应第二流体输送导管。
10.如权利要求8所述的流体输送设备,进一步包括多个分配喷嘴,所述多个分配喷嘴相应地耦合到所述多个输送线中的每一个。
11.如权利要求1所述的流体输送设备,其中所述多个压力测量导管中的每一个在所述第一流体输送导管和所述多个第一出口端口中的相应的出口端口之间与所述多个第二流体输送导管中的相应的第二流体输送导管相交。
12.如权利要求10所述的流体输送设备,其中所述多个压力测量导管中的每一个具有0.5mm和5mm之间的直径。
13.如权利要求1所述的流体输送设备,其中所述压力测量端口与所述多个压力测量导管直接流体连通。
14.如权利要求4所述的流体输送设备,其中所述多个压力测量导管与设置在所述压力测量装置和所述多个压力测量导管之间的流体储存器直接流体连通。
15.如权利要求14所述的流体输送设备,进一步包括设置在所述单体式歧管主体的第二出口端口中的第二出口配件,其中排放导管将所述流体储存器流体地耦合至所述第二出口端口,并且所述第二出口配件被配置成将所述排放导管流体地连接至排放线。
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