[发明专利]流量控制装置

权利要求书

1.一种流量控制装置，其特征在于，具备

压力控制阀，所述压力控制阀设置于流路；

流量控制阀，所述流量控制阀设置于所述压力控制阀的下游侧；

第一压力传感器，所述第一压力传感器对所述压力控制阀的下游侧且所述流量控制阀的上游侧的压力进行测定；以及

节流部，所述节流部的开度固定，

所述流量控制阀具有：阀体，所述阀体离接于阀座；压电元件，所述压电元件移动所述阀体而使所述阀体离接于所述阀座；以及应变传感器，所述应变传感器设置于所述压电元件的侧面，

将所述流量控制阀所具有的所述阀座与所述阀体的距离作为开度，所述流量控制阀被用作能够变更所述开度的节流部，

一边基于从所述第一压力传感器输出的信号对所述压力控制阀进行控制，一边基于从所述应变传感器输出的信号对所述压电元件的驱动进行控制，

在对连续的流动进行控制时，使用所述开度固定的节流部进行流量控制，在对断续的流动进行控制时，使用作为能够变更所述开度的节流部的所述流量控制阀进行流量控制。

2.根据权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，

在使用所述开度固定的节流部进行所述连续的流动的控制时，所述流体控制阀设为全开。

3.根据权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，

所述开度固定的节流部设置于所述流量控制阀的上游侧。

4.根据权利要求3所述的流量控制装置，其特征在于，

还具备第二压力传感器，所述第二压力传感器对所述流量控制阀的下游侧的压力进行测定。

5.根据权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，

所述开度固定的节流部设置于所述流量控制阀的下游侧。

6.根据权利要求5所述的流量控制装置，其特征在于，

还具备第二压力传感器，所述第二压力传感器对所述开度固定的节流部的下游侧的压力进行测定。

7.根据权利要求1至6任一项所述的流量控制装置，其特征在于，

还具备第三压力传感器，所述第三压力传感器对所述流量控制阀和所述开度固定的节流部之间的压力进行测定。

8.根据权利要求1至7任一项所述的流量控制装置，其特征在于，

所述开度固定的节流部的最大设定流量比所述流量控制阀的最大设定流量大。

9.根据权利要求1至8任一项所述的流量控制装置，其特征在于，

在所述流量控制阀的上游侧的压力和所述流量控制阀的下游侧的压力满足临界膨胀条件的状态下进行流量控制。

10.根据权利要求1至9任一项所述的流量控制装置，其特征在于，

所述应变传感器包括：第一应变仪，所述第一应变仪用于对所述压电元件的伸长方向的应变进行检测；和第二应变仪，所述第二应变仪用于对与所述压电元件的所述伸长方向正交的方向的应变进行检测。

11.根据权利要求1至10任一项所述的流量控制装置，其特征在于，

所述流量控制阀具备压电致动器，所述压电致动器具有：多个压电元件，所述多个压电元件包括安装有所述应变传感器的所述压电元件；和将所述多个压电元件容纳成一列的筒体，所述流量控制阀为以通过向所述压电致动器施加电压使作为所述阀体的金属隔膜阀体向阀座的方向移动的方式构成的常开型的阀。

12.根据权利要求1至10任一项所述的流量控制装置，其特征在于，

所述流量控制阀具备压电致动器，所述压电致动器具有：安装有所述应变传感器的所述压电元件；和容纳所述压电元件的筒体，所述流量控制阀为以通过向所述压电致动器施加电压使作为所述阀体的金属隔膜阀体向阀座的方向移动的方式构成的常开型的阀。