[发明专利]陶瓷、探针引导构件、探针卡及封装检查用插座

权利要求书

1.一种陶瓷，其以质量％计含有：

Si₃N₄：20.0～60.0％；

ZrO₂：25.0～70.0％；以及，

选自MgO、Y₂O₃、CeO₂、CaO、HfO₂、TiO₂、Al₂O₃、SiO₂、MoO₃、CrO、CoO、ZnO、Ga₂O₃、Ta₂O₅、NiO和V₂O₅中的1种以上：5.0～15.0％。

2.根据权利要求1所述的陶瓷，其以质量％计含有：

选自MgO、Y₂O₃、CeO₂、CaO和HfO₂中的1种以上；以及，

选自TiO₂、Al₂O₃、SiO₂、MoO₃、CrO、CoO、ZnO、Ga₂O₃、Ta₂O₅、NiO和V₂O₅中的1种以上。

3.根据权利要求1或2所述的陶瓷，其中，ZrO₂的晶相为：正方晶、正方晶和单斜晶、立方晶、立方晶和正方晶、或者立方晶和单斜晶。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的陶瓷，其中，ZrO₂为立方晶。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的陶瓷，其在-50～500℃下的热膨胀系数为3.0×10^-6～6.0×10^-6/℃，且三点弯曲强度为700MPa以上。

6.一种探针引导构件，其是用于对探针卡的探针进行引导的探针引导构件，所述探针引导构件具备：

使用权利要求1至5中任一项所述的陶瓷而得到的板状的主体部；以及，

所述主体部中用于穿插所述探针的多个贯通孔和/或狭缝。

7.根据权利要求6所述的探针引导构件，其中，所述多个贯通孔的内表面和/或所述狭缝的内表面的表面粗糙度以Ra计为0.25μm以下。

8.一种探针卡，其具备：

多个探针；以及，

权利要求6或7所述的探针引导构件。

9.一种封装检查用插座，其使用权利要求1至5中任一项所述的陶瓷。