[发明专利]用于电子模块的基板的制造方法有效
申请号: | 201880073334.8 | 申请日: | 2018-10-17 |
公开(公告)号: | CN111344430B | 公开(公告)日: | 2022-03-15 |
发明(设计)人: | J·甘茨;R·霍夫曼;U·德赖西希阿克 | 申请(专利权)人: | 多杜科解决方案有限公司 |
主分类号: | C23C14/02 | 分类号: | C23C14/02;C23C14/04;C23C14/18;H05K3/00 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 赵学超 |
地址: | 德国普福*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 电子 模块 制造 方法 | ||
1.用于电子模块的基板的制造方法,其中,用可焊层涂覆复合材料板,所述复合材料板包含非金属组分和基于铝的金属组分,其特征在于,所述可焊层基于铜或贵金属,并且通过PVD沉积到基于镍的中间层上。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在沉积所述可焊层之前,通过PVD将粘合层沉积到所述板上。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述粘合层是基于钛、钨、钼和/或铬的层。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述复合材料的非金属组分是碳化硅或碳。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在涂覆工艺之前对所述板进行离子蚀刻。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的方法,其特征在于,当借助于掩模进行涂覆时,所述板的特定区域能够被忽略。
7.一种电子模块,具有基板和电子部件,所述基板是利用根据前述权利要求1-6中任一项所述的方法制造的,所述电子部件焊接到所述基板的可焊层上。
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